本文關(guān)鍵詞：藍(lán)寶石晶片加工中的技術(shù)關(guān)鍵和對(duì)策

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【摘要】：傳統(tǒng)的粗磨工藝在加工藍(lán)寶石薄片過(guò)程中遇到很大挑戰(zhàn),易于產(chǎn)生崩邊、隱裂和碎片等問(wèn)題。雙面金剛石研磨、單面金剛石磨削、雙面金剛石研磨墊等新工藝可以解決上述這些問(wèn)題。在藍(lán)寶石精磨工藝中,細(xì)粒碳化硼和金剛石顆粒鑲嵌的陶瓷研磨盤(pán)配合的雙面研磨工藝,可以有效地降低粗磨過(guò)程中造成的表面損傷;使用細(xì)粒金剛石研磨液的單面銅盤(pán)工藝亦是一種有效的精磨工藝。本文對(duì)二者的優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行了比較。藍(lán)寶石的拋光速率較慢,一般不超過(guò)5~10μm/h。藍(lán)寶石拋光的主流仍是使用二氧化硅拋光液。在二氧化硅拋光液中添加其它細(xì)粒磨料或采用氧化鋁拋光液等其它方法,仍處于試驗(yàn)階段。輕壓拋光對(duì)提高藍(lán)寶石的表面質(zhì)量非常關(guān)鍵。兆聲清洗工藝可以減少藍(lán)寶石表面的微小缺陷,兆聲單片清洗工藝尤為有效。
【作者單位】： 河北工業(yè)大學(xué)天津市電子材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 藍(lán)寶石薄片 金剛石研磨盤(pán) 藍(lán)寶石精磨 兆聲清洗
【基金】：河北省百人計(jì)劃項(xiàng)目(E2013100006)
【分類(lèi)號(hào)】：TQ164.2
【正文快照】： (Received 25 December 2015,accepted 2 March 2016)1引言藍(lán)寶石(Sapphire)俗稱(chēng)“剛玉”,又稱(chēng)白寶石。它是氧化鋁的單晶形態(tài),分子式為Al2O3,晶體結(jié)構(gòu)為六方,晶格常數(shù)為a=b=0.4758 nm,c=1.2991 nm。藍(lán)寶石具有良好的光學(xué)、熱學(xué)、介電性能和優(yōu)良的力學(xué)性能,同時(shí)具有優(yōu)良的化學(xué)

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本文編號(hào)：938410