本文關(guān)鍵詞：準分子激光與SiC陶瓷的相互作用研究

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【摘要】：采用準分子激光對SiC陶瓷表面進行了不同脈沖數(shù)、不同單脈沖能量和不同重復頻率的輻照實驗,獲得了SiC陶瓷的輻照損傷二維和三維表面形貌,并分析了微觀作用機制。結(jié)果表明,193nm準分子激光輻照SiC陶瓷時既產(chǎn)生光熱作用又產(chǎn)生光化學作用,其中光熱作用占主導;SiC表面損傷的宏觀形貌與激光輻照參數(shù)相關(guān),輻照脈沖數(shù)增加或單脈沖能量增加均會加重輻照損傷,增大激光重復頻率會導致輻照損傷深度略微下降。
【作者單位】： 中國科學院光電研究院;北京市準分子激光工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 輻照損傷 損傷機制 準分子激光 SiC陶瓷
【基金】：國家科技重大專項(2012ZX02702001)
【分類號】：TQ174.758.12;TN24
【正文快照】： 1引言 工程陶瓷材料,如Al2O3、Si3N4、SiC、ZrO2等,具有很高的硬度和良好的耐磨性、耐熱性、耐化學腐蝕性,已廣泛應用于電子行業(yè)、精密機械工業(yè)和航空航天工業(yè)。但由于陶瓷材料既硬又脆,采用傳統(tǒng)的加工方法加工時,工件容易產(chǎn)生裂紋,而且加工周期長,很難加工復雜的外形。激光

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