本文關(guān)鍵詞：電鑄參數(shù)對銅基平面微彈簧疲勞性能的影響

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【摘要】：平面微彈簧性能直接影響著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的效果和可靠性,研制長壽命的平面微彈簧對于保證微機(jī)電系統(tǒng)可靠性具有重要的意義。研究了占空比、電流密度、電源屬性對電鑄平面微彈簧質(zhì)量的影響,并基于正交實驗設(shè)計方法優(yōu)化了工藝;制備了尺寸精度合適和疲勞性能良好的平面微彈簧,滿足了MEMS的需要。研究表明:大的占空比會降低微彈簧的疲勞性能;雙脈沖電源電鑄的平面微彈簧疲勞性能優(yōu)于直流電源和單脈沖電源電鑄的;最優(yōu)工藝為采用雙脈沖電源、電流密度3 A/dm2、正向占空比10%;反向占空比10%.平面微彈簧疲勞壽命在定位移0.2 mm的情況下,最大517次。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 兵器科學(xué)與技術(shù) 平面微彈簧 微電鑄 疲勞性能 正交實驗
【基金】：江蘇省自然科學(xué)基金項目(BK20151489) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)專項資金項目(30920140112008) 上海航天科技創(chuàng)新基金項目(SAST2015044)
【分類號】：TQ153.4
【正文快照】： 0引言微小型武器技術(shù)在未來戰(zhàn)爭和國家安全方面具有重大作用,是未來新型武器系統(tǒng)與裝備的重要發(fā)展方向之一。為適應(yīng)武器微小型化發(fā)展的需要,各國采用了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造傳感器和微系統(tǒng)。平面微彈簧作為微型執(zhí)行器、微型加速度傳感器以及其他微慣性器件的重要組成部分,，

本文編號：877329