本文關(guān)鍵詞：橫向超聲振動對金剛石線鋸切割硬脆材料鋸切力及臨界切削深度的影響

  更多相關(guān)文章： 金剛石線鋸 橫向超聲振動 鋸切力 臨界切削深度 SiC切割試驗

【摘要】：硬脆晶體材料,如SiC、Ge和Si等,由于其臨界切削深度極小,常規(guī)加工方法很難實現(xiàn)塑性模式加工,研究橫向超聲振動金剛石線鋸對硬脆材料鋸切力和臨界切削深度的影響有重要意義。在研究線鋸受迫振動的基礎(chǔ)上,分析金剛石線鋸在橫向超聲波激勵下柔性旋轉(zhuǎn)點切割硬脆材料的條件;用特征函數(shù)對超聲激勵下金剛石線鋸的振動切割狀態(tài)進行表征;應(yīng)用磨削理論建立了單顆金剛石磨粒切割硬脆材料的力學(xué)模型;推導(dǎo)出超聲振動激勵下金剛石線鋸鋸切硬脆材料臨界切削深度的計算公式。以單晶SiC為對象,進行了超聲振動線鋸切割和普通線鋸切割對比試驗。結(jié)果表明相同條件下,超聲振動線鋸切割SiC的鋸切力比普通線鋸的鋸切力減少22.4%~64.2%,臨界切削深度增加1倍,晶片表面粗糙度有明顯的改善。試驗結(jié)果與理論分析具有良好的一致性。
【作者單位】： 西安理工大學(xué)機械與精密儀器工程學(xué)院;河南科技大學(xué)河南省機械設(shè)計及傳動系統(tǒng)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石線鋸 橫向超聲振動 鋸切力 臨界切削深度 SiC切割試驗
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51175420) 陜西省教育廳基金(00S1409)資助項目
【分類號】：TQ163
【正文快照】： 0前言*近年來,隨著Si C、Si、Ge等硬脆材料在航空航天、半導(dǎo)體、微電子、精密光學(xué)和IT等高新技術(shù)領(lǐng)域的大規(guī)模應(yīng)用,硬脆材料的超精密切削加工已引起人們更多的關(guān)注[1-3]。硬脆材料如Si C、Si、Ge等,尤其是Si C,由于具有極高的硬度和脆性,臨界切削深度非常小(在納米級),切削加

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本文編號：796881