本文關鍵詞：二維硫化鉬基原子晶體材料的化學氣相沉積法制備及其器件

  更多相關文章： 二硫化鉬 化學氣相沉積 光電器件 二維異質結

【摘要】：二維過渡族金屬硫屬化合物因其帶隙具有強烈的層數依賴性而在電子器件方面具有廣泛的應用前景。其中單層二硫化鉬(MoS_2)是該系列材料中最典型的一種直接帶隙半導體,它具有優(yōu)異的光、電、磁、熱和力學性能。二維MoS_2有望在光電探測、光伏器件、場效應晶體管、存儲器件、谷電子和自旋器件、溫差電器件、微納機電器件和系統(tǒng)等方面得以廣泛應用�；瘜W氣相沉積(CVD)法已成為制備二維過渡族金屬硫屬化合物如MoS_2、MoSe_2、WS_2和WSe_2等原子層薄膜的主要手段,尤其科學界利用CVD法對二維MoS_2材料進行了深入的制備探索,通過該方法制備的MoS_2薄膜在電子和光電器件方面已經有廣泛研究。本文將從二維MoS_2的基本物性出發(fā),詳細介紹CVD法制備MoS_2的各種工藝過程,如熱分解硫代硫酸鹽法、硫化Mo(MoO_(3-x))薄膜制備法、MoO_(3-x)粉體與硫屬前驅體氣相合成法和鉬箔表面直接硫化法,并介紹了基于MoS_2的二維異質結構筑方法。在制備材料的基礎上,詳細闡述了二維MoS_2在場效應晶體管、光電探測器、柔性電子器件以及異質結器件方面的應用,并展望了二維材料在半導體器件中的應用前景。
【作者單位】： 南京航空航天大學航空宇航學院機械結構與控制國家重點實驗室納智能材料器件教育部重點實驗室和納米科學研究所;南京航空航天大學材料科學與技術學院;
【關鍵詞】： 二硫化鉬 化學氣相沉積 光電器件 二維異質結
【基金】：國家自然科學基金項目(No.61474063,11302100) 南京航空航天大學基金(No.NJ20140002,NE2015102,NZ2015101) 江蘇省自然科學基金項目(No.SBK2015022205) 機械結構力學與控制國家重點實驗室基金項目(No.0413Y02,0415G02) 江蘇省高校優(yōu)勢學科建設工程資助~~
【分類號】：TQ136.12
【正文快照】： The work was supported by the National Natural Science Foundation of China(No.61474063,11302100),the Innovation Fund of NUAA(No.NJ20140002,NE2015102,NZ2015101),the National Natural Science Foundation of Jiangsu Province(No.SBK2015022205),SKL Funding ofNU

【相似文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 鄭治祥;化學氣相沉積碳化硅薄膜的研究[J];硅酸鹽學報;1995年05期

2 薛連偉;;多晶硅化學氣相沉積數值模擬的研究進展[J];化工技術與開發(fā);2013年09期

3 張迎光,白雪峰,張洪林,劉寧生;化學氣相沉積技術的進展[J];中國科技信息;2005年12期

4 夏小霞;周乃君;王志奇;;多晶硅化學氣相沉積反應的三維數值模擬[J];人工晶體學報;2014年03期

5 羅瑞盈，李賀軍，楊崢，康沫狂;化學氣相沉積碳／碳復合材料性能研究[J];無機材料學報;1996年01期

6 楊紅;化學氣相沉積法制備的錳氧化物薄膜的電色性質[J];中國錳業(yè);1996年04期

7 張攀;王偉文;陳光輝;李建隆;;流態(tài)化多晶硅化學氣相沉積過程的數值模擬[J];人工晶體學報;2012年04期

8 李建隆;陳光輝;張攀;王偉文;段繼海;;流化床化學氣相沉積多晶硅的技術進步與挑戰(zhàn)(英文)[J];Chinese Journal of Chemical Engineering;2011年05期

9 梁博，黃政仁，江東亮，譚壽洪，陸忠乾;化學氣相沉積法制備SiC納米粉[J];無機材料學報;1996年03期

10 ;化學氣相沉積耐磨、耐熱金剛石薄膜[J];稀有金屬材料與工程;1994年02期

中國重要會議論文全文數據庫 前5條

1 龐世紅;馬眷榮;馬振珠;;在線化學氣相沉積過程的動力學研究[A];2007中國浮法玻璃及玻璃新技術發(fā)展研討會論文集[C];2007年

2 楊艷;;化學氣相沉積碳化硅[A];第三屆全國化學工程與生物化工年會論文摘要集（下）[C];2006年

3 徐幸梓;張力;曾丁丁;陳玉安;韓志范;;氫在化學氣相沉積制備碳材料過程中的作用[A];2007高技術新材料產業(yè)發(fā)展研討會暨《材料導報》編委會年會論文集[C];2007年

4 周健;羅迎社;李立君;鐘琦文;殷水平;;激光誘導化學氣相沉積制造微碳柱的研究[A];中國化學會、中國力學學會第九屆全國流變學學術會議論文摘要集[C];2008年

5 魏雨;;利用含鐵廢棄物制備超細氧化鐵的新工藝[A];中國納米級無機粉體材料發(fā)展·節(jié)能·環(huán)保高峰論壇論文集[C];2007年

中國碩士學位論文全文數據庫 前6條

1 趙萬順;高溫化學氣相沉積系統(tǒng)的溫度場和流場的研究與改進[D];華北電力大學;2012年

2 王薇;錸的化學氣相沉積前驅體的合成探究[D];昆明理工大學;2013年

3 趙學嘉;化學氣相沉積HfC陶瓷涂層的制備和結構[D];中南大學;2012年

4 石淑秀;化學氣相沉積法制備碳納米管陣列的進一步研究及其應用基礎研究[D];天津大學;2012年

5 余風利;碳納米管化學氣相沉積爐的優(yōu)化設計與仿真[D];南昌大學;2015年

6 唐冬梅;陣列碳納米管的制備及其應用研究[D];西南科技大學;2015年

，

本文編號：775338