本文關(guān)鍵詞：多晶金剛石固結(jié)磨料研磨墊精研石英玻璃的性能探索

  更多相關(guān)文章： 多晶金剛石 石英玻璃 固結(jié)磨料研磨墊 研磨性能

【摘要】：通過粘結(jié)劑將單晶金剛石制成粒徑更大的多晶金剛石。采用SEM觀察了多晶金剛石的微觀形貌,分別制備了單晶和多晶金剛石固結(jié)磨料研磨墊,比較了單晶與多晶金剛石固結(jié)磨料研磨墊的研磨性能。結(jié)果表明:單晶金剛石固結(jié)磨料墊與多晶金剛石固結(jié)磨料墊精研石英玻璃的表面粗糙度相似;但多晶金剛石固結(jié)磨料墊的材料去除率更高且穩(wěn)定;多晶金剛石在研磨過程中的微破碎,確保了其自修整過程的實(shí)現(xiàn)。另外,多晶金剛石研結(jié)磨料墊研磨的石英玻璃亞表面損傷層深度小,約為原始單晶金剛石粒徑的1/2。
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)江蘇省精密與微細(xì)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 多晶金剛石 石英玻璃 固結(jié)磨料研磨墊 研磨性能
【基金】：航空科學(xué)基金(2014ZE52055) 江蘇省精密與微細(xì)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金 南京航空航天大學(xué)研究生創(chuàng)新基地開放基金(kfjj20160h502)
【分類號(hào)】：TQ171.684
【正文快照】： 南京航空航天大學(xué)研究生創(chuàng)新基地開放基金(kfjj20160h502)0引言石英玻璃是二氧化硅單一組分的特種工業(yè)玻璃,具有極低的熱膨脹系數(shù),高的耐溫性,極好的化學(xué)穩(wěn)定性,優(yōu)良的電絕緣性,在紫外、可見光及近紅外區(qū)域透射性能優(yōu)越。它是空間技術(shù)、原子能工業(yè)、國防裝備、通訊等關(guān)鍵工業(yè)

【相似文獻(xiàn)】

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