本文關(guān)鍵詞：碳熱還原氮化制度對TiN薄膜制備影響的研究

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【摘要】：以四氯化鈦乙醇溶液為鈦源,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)為碳源,采用碳熱還原氮化技術(shù)制備氮化鈦薄膜。利用XRD、FE-SEM和UV-VIS-NIR研究了合成溫度和保溫時間對氮化鈦薄膜顯微結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的影響。結(jié)果表明,當(dāng)合成溫度為1250℃時,薄膜物相仍為金紅石型TiO_2和Ti_3O_5;合成溫度為1300℃時,薄膜為單一氮化鈦物相,氮化鈦顆粒呈典型的三角錐型。保溫時間為5 h時,薄膜中氮化鈦晶體發(fā)育更明顯,薄膜在近紅外區(qū)域的反射率可達70%,但保溫時間延長到7 h時,薄膜中物相轉(zhuǎn)變?yōu)樘蓟?石英玻璃基體中還析出了方石英。
【作者單位】： 華北理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中國科學(xué)院特種無機涂層重點實驗室;河北省無機非金屬材料重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 碳熱還原氮化 氮化鈦 薄膜
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51272066) 中國科學(xué)院特種無機涂層重點實驗室開放課題基金(KLICM-2011-01) 河北省自然科學(xué)基金(E2013209183) 河北省高等學(xué)�？茖W(xué)技術(shù)研究青年基金資助項目(2011124)
【分類號】：TQ134.11;TB383.2
【正文快照】： 氮化鈦(Ti N)薄膜具有硬度高、耐高溫、耐酸堿侵蝕、耐磨損、良好的光學(xué)和電性特性以及優(yōu)良的生物相容性,廣泛應(yīng)用在機械、冶金、汽車、建筑、電子和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。目前,制備Ti N薄膜主要采用化學(xué)氣相沉積法[1]、物理氣相沉積法[2]、離子注入技術(shù)[3]及溶膠-凝膠還原氮化法[4-7]

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 李吉利;蔣明學(xué);;TiN粉末的制備方法[J];耐火材料;2011年05期

2 劉會興;卜景龍;魏恒勇;崔q，

本文編號：691329