本文關(guān)鍵詞：常壓燒結(jié)SiC超光滑拋光性能研究

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【摘要】：采用常壓燒結(jié)的方法制備了反射鏡用SiC陶瓷材料。研究了金剛石、氧化鉻(Cr_2O_3)和二氧化硅(SiO_2)_3種磨料對常壓燒結(jié)SiC陶瓷拋光性能的影響。結(jié)果表明,常壓燒結(jié)SiC的各項(xiàng)物理性能滿足反射鏡基底材料的基本要求;金剛石磨料與常壓燒結(jié)SiC陶瓷的硬度差最小,且超順滑拋光過程中金剛石磨粒形狀在SiC陶瓷表面產(chǎn)生的位錯(cuò)、空位等缺陷最少,因此采用金剛石磨料時(shí),常壓燒結(jié)SiC陶瓷的表面質(zhì)量最好,其表面粗糙度值(RMS)為0.789 nm,面形精度為0.007λ(λ=0.632 8μm),滿足反射鏡的使用要求。
【作者單位】： 鋼鐵研究總院;中國鋼研科技集團(tuán)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： SiC 常壓燒結(jié) 磨料 金剛石 表面粗糙度
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2013ZX02104)
【分類號】：TQ174.1
【正文快照】： Si C材料由于比剛度高、熱穩(wěn)定系數(shù)高、光學(xué)加工性能好、無毒等優(yōu)良特性已廣泛應(yīng)用于制造空間望遠(yuǎn)鏡、遙感偵查相機(jī)和光刻機(jī)方鏡等[1-2]。根據(jù)制備工藝方法的不同,Si C可分為反應(yīng)燒結(jié)Si C(RB-Si C)、化學(xué)氣相沉積Si C(CVD-Si C)、熱壓燒結(jié)Si C(HP-Si C)、常壓燒結(jié)Si C(S-Si C)

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 喬冠軍,王永蘭,李光新,楊建鋒,高積強(qiáng),金志浩;成分及工藝對常壓燒結(jié)碳化硅組織及性能的影響[J];硅酸鹽通報(bào);1993年06期

2 楊明輝,郝春云,高玲;常壓燒結(jié)Si_3N_4-MgO-Y_2O_3-CeO_2陶瓷的研究[J];佛山陶瓷;2005年04期

3 鄔國平;;碳纖維增強(qiáng)多孔型常壓燒結(jié)碳化硅及其制備方法[J];高科技纖維與應(yīng)用;2009年05期

4 王零森,王有才,樊毅,吳芳;配料Z值對常壓燒結(jié)Sialon結(jié)構(gòu)與性能的影響[J];中南工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2001年02期

5 王零森,王有才,樊毅,吳芳;Sialon陶瓷的常壓燒結(jié)[J];中南工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2001年03期

6 龔亦農(nóng),徐潔,丘泰;常壓燒結(jié)SiC陶瓷的研究[J];江蘇陶瓷;2001年01期

7 李小兵,田蒔,趙建偉;熱壓和常壓燒結(jié)PZN-PZT陶瓷的溫度穩(wěn)定性[J];壓電與聲光;2003年04期

8 杜大明,趙世坤,李華平,高玲,楊海濤;氮化硅常壓燒結(jié)研究進(jìn)展[J];山東陶瓷;2003年04期

9 杜大明,李華平,趙世坤,高玲,楊海濤;Si_3N_4陶瓷常壓燒結(jié)研究進(jìn)展[J];陶瓷;2003年04期

10 傅博,顏豐,王永蘭;雙相Sialon材料的研究[J];耐火材料;1997年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 李家駒;劉貴偉;王夢林;劉貴山;;β′-Sialon的常壓燒結(jié)研究[A];94'全國結(jié)構(gòu)陶瓷、功能陶瓷、金屬/陶瓷封接學(xué)術(shù)會議論文集[C];1994年

2 閆永杰;張輝;黃政仁;劉學(xué)建;;C含量對ZrB_2-SiC復(fù)相陶瓷常壓燒結(jié)及其性能的影響[A];中國空間科學(xué)學(xué)會空間材料專業(yè)委員會2009學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2009年

3 徐紹亮;林元華;張波萍;;固相反應(yīng)法和常壓燒結(jié)法制備Al和Ga摻雜ZnO陶瓷[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 杜大明;不同燒結(jié)助劑對氮化硅常壓燒結(jié)的影響[D];武漢理工大學(xué);2004年

2 郭超;高純高致密氧化鋁陶瓷低溫常壓燒結(jié)研究[D];機(jī)械科學(xué)研究總院;2006年

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本文編號：689032