本文關(guān)鍵詞：硅芯制備技術(shù)及對(duì)沉積多晶硅棒雜質(zhì)的影響

  更多相關(guān)文章： 硅芯 雜質(zhì)分凝 雜質(zhì)揮發(fā) 坩堝污染

【摘要】：本文介紹了改良西門子法多晶硅生產(chǎn)中的硅芯制備技術(shù),包括區(qū)熔法硅芯制備技術(shù)和切割法硅芯制備技術(shù)。簡(jiǎn)要介紹了兩種硅芯制備技術(shù)的工藝流程,并對(duì)兩種不同技術(shù)路線制備硅芯過程中的雜質(zhì)分凝、揮發(fā)及坩堝污染進(jìn)行了比較。根據(jù)分析結(jié)果,采用區(qū)熔硅芯能在一定程度上降低硅芯對(duì)硅棒的雜質(zhì)貢獻(xiàn)。
【作者單位】： 昆明理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;昆明冶研新材料股份有限公司;云南省光電子硅材料制備技術(shù)企業(yè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 硅芯 雜質(zhì)分凝 雜質(zhì)揮發(fā) 坩堝污染
【基金】：云南省科技廳省院省�？萍己献鲗ｍ�(xiàng)資助項(xiàng)目(2014IB003)
【分類號(hào)】：TQ127.2
【正文快照】： 1引言多晶硅產(chǎn)業(yè)是敏感的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。全球約10億美元的多晶硅材料支撐起了大約150億美元的半導(dǎo)體材料工業(yè),這些半導(dǎo)體材料又支撐起了約4000億美元的微電子產(chǎn)業(yè)和2000億美元的電力電子產(chǎn)業(yè)[1]。2003年以后,光伏產(chǎn)業(yè)爆發(fā)式增長(zhǎng),促進(jìn)了多晶硅產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。2012年,全球光伏裝

【參考文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：642581