本文關(guān)鍵詞：致密SiC包覆層低溫流化床化學(xué)氣相沉積制備及形成機制

  更多相關(guān)文章： SiC 流化床 化學(xué)氣相沉積 甲基三氯硅烷 包覆層

【摘要】：一般致密SiC材料的制備需要極高的溫度,而降低制備溫度一直是SiC制備領(lǐng)域的重要研究方向。采用流化床化學(xué)氣相沉積法,在球形二氧化鋯陶瓷顆粒上制備了厚度為幾十微米的SiC包覆層。通過對不同溫度SiC包覆層的顯微形貌及微觀結(jié)構(gòu)變化規(guī)律研究,給出了沉積效率變化規(guī)律,發(fā)現(xiàn)低溫產(chǎn)物富硅,而高溫產(chǎn)物富碳。對不同氬氣含量的實驗研究發(fā)現(xiàn),氬氣的加入可以促進沉積反應(yīng)向富碳方向移動,從而可以在顯著降低溫度的條件下制備出致密SiC包覆層。綜合實驗結(jié)果給出了流化床化學(xué)氣相沉積方法在不同溫度及氬氣濃度條件下制備SiC的物相分布圖。
【作者單位】： 清華大學(xué)核能與新能源技術(shù)研究院先進核能技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心;西北工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： SiC 流化床 化學(xué)氣相沉積 甲基三氯硅烷 包覆層
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51302148,21306097) 清華大學(xué)自主科研計劃(20131089217)
【分類號】：TQ163.4;TB306
【正文快照】： 網(wǎng)絡(luò)出版地址:www.cnki.net/kcms/detail/11.1801.TB.20151026.1120.004.html引用格式:王子梁,劉榮正,劉馬林,等.致密SiC包覆層低溫流化床化學(xué)氣相沉積制備及形成機制[J].復(fù)合材料學(xué)報,2016,33(8):1777-1784.WANG Z L,LIU R Z,LIU M L,et al.Low temperature synthesis and fo

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10 ;[J];;年期

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本文編號：612875