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基于橢圓偏振光譜法的玻璃表面離子束改性分析

發(fā)布時間:2017-07-31 07:44

  本文關(guān)鍵詞:基于橢圓偏振光譜法的玻璃表面離子束改性分析


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【摘要】:采用陽極層線性離子源解離氮氣對玻璃表面進行刻蝕處理,研究表面改性后玻璃表面的變化,并分析離化電壓對表面粗糙度、折射率以及光學(xué)厚度的影響。在此基礎(chǔ)上,基于橢圓偏振光譜儀,通過對比不同表面狀態(tài)下的Δ光譜,討論固定波長變化入射角的Δ光譜曲線特征與表面折射率、布儒斯特角、粗糙度以及光學(xué)厚度之間的關(guān)系。結(jié)果表明,刻蝕后玻璃的布儒斯特角附近的Δ光譜曲線形狀發(fā)生變化,突變向高角度偏移,曲線下降斜率增大。通過建模并擬合分析發(fā)現(xiàn),氮離子束轟擊使玻璃表面產(chǎn)生光密介質(zhì)層,表面折射率增大,布儒斯特角增大,粗糙度降低,且隨離化電壓升高,折射率不變,而光密介質(zhì)層厚度增加。由原子力顯微鏡分析表面形貌,驗證了離子束對玻璃表面的平整化作用。X射線光電子能譜結(jié)果表明離子束使玻璃表面發(fā)生選擇性濺射,推斷光密介質(zhì)層的產(chǎn)生來自于離子束對玻璃表面的夯實作用。此外,推導(dǎo)并驗證了Δ光譜曲線的特征與材料表面狀態(tài)之間的普適關(guān)系,提出了基于橢圓偏振光譜儀的材料表面評估方法,即Δ曲線的突變發(fā)生角度增大說明折射率與布儒斯特角的增大;下降斜率增大說明表面粗糙度減小;曲線兩端尖角增大說明光學(xué)厚度增大。反之亦然。
【作者單位】: 中國建筑材料科學(xué)研究總院國家玻璃深加工工程技術(shù)中心綠色建筑材料國家重點實驗室太陽能與建筑節(jié)能玻璃材料加工技術(shù)北京市重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】橢圓偏振光譜儀 玻璃 線性離子源 布儒斯特角 粗糙度
【分類號】:TN305.8
【正文快照】: 通過直流電源使陰陽極間形成電位差導(dǎo)致放電將中性氣體原引 言子離化產(chǎn)生定向運動離子的裝置,離子束流進入真空腔室與工件表面相碰撞[7]。相比于其他種類離子源來說,其結(jié)構(gòu)簡  對于光學(xué)鍍膜而言,玻璃基材的表面質(zhì)量非常重要,其單,陽極與陰極材料均為金屬,沒有燈絲或空心陰

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2 王艷茹;李文坡;;鉛在金上電沉積的原位橢圓偏振研究[A];中國化學(xué)會第27屆學(xué)術(shù)年會第10分會場摘要集[C];2010年

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4 王傳亮;賴炫揚;陳永菊;全威;柳曉軍;陳京;;稀有氣體原子在橢圓偏振飛秒激光場中的高階閾上電離研究[A];第十六屆全國原子與分子物理學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2011年

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6 孫斌;陳岳瑞;賈李琛;鄭玉祥;陳良堯;;陣列檢偏器結(jié)構(gòu)的高速橢圓偏振分析研究(英文)[A];上海市激光學(xué)會2005年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

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2 黃凱云;橢圓偏振激光場中原子單電離動力學(xué)研究[D];中國工程物理研究院;2014年

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2 賀毓玲;原位橢圓偏振光譜法研究金屬表面膜的生長機制[D];重慶大學(xué);2014年

3 王添;氬原子在橢圓偏振激光場中雙電離的理論研究[D];吉林大學(xué);2015年

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本文編號:598077

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