本文關(guān)鍵詞：藍寶石基片的磁流變化學拋光試驗研究

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【摘要】：分析了磁流變化學拋光的加工機理,對藍寶石基片的磁流變化學拋光進行了試驗研究。結(jié)果表明:磁流變化學拋光可將藍寶石基片加工到亞納米級粗糙度的超光滑鏡面,材料去除率受化學反應(yīng)速率和剪切去除作用共同影響,化學反應(yīng)速率越快,剪切去除作用越強,材料去除率越高;混有硅膠溶液與α-Al2O3磨料的磁流變化學拋光液去除率最高;材料去除率隨工作間隙,勵磁間隙以及加工時間的增大而減少,隨鐵粉濃度減少而減少;利用磁流變化學拋光方法加工藍寶石基片可獲得Ra 0.3 nm的超光滑表面。
【作者單位】： 湖南大學國家高效磨削工程技術(shù)研究中心;大連理工大學精密與特種加工教育部重點實驗室;長沙納美特超精密制造技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 藍寶石基片 磁流變化學拋光 材料去除率 超光滑鏡面
【基金】：國家自然科學基金(51205120) 國際科技合作與交流專項(2014DFG72480) 大連理工大學精密與特種加工教育部重點實驗室開放基金資助項目
【分類號】：TQ163
【正文快照】： 0前言*近年來,藍寶石作為一種重要的技術(shù)晶體,已被廣泛應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光裝置的窗口材料等國防領(lǐng)域,同時也廣泛運用在半導體Ga N/Al2O3發(fā)光二極管(LED)、大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導納米結(jié)構(gòu)薄膜等民用領(lǐng)域[1-3]。特別是隨著LED技術(shù)的快速發(fā)展,

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本文編號：596988