微電鑄中電場均勻性分布與控制方法
發(fā)布時間:2017-07-20 19:02
本文關(guān)鍵詞:微電鑄中電場均勻性分布與控制方法
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【摘要】:微電鑄技術(shù)用來生產(chǎn)金屬微器件,已經(jīng)成為一種重要的和有效的加工方法。為了獲得理想的電鑄產(chǎn)品結(jié)構(gòu),電鑄液中電場的分布起到了重要的作用。電鑄液中電場的均勻性分布可以提高微電鑄的鑄層質(zhì)量和尺寸精度,并能提高電鑄微觀結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能。本文基于三電極體系提出了一種新的電場測量方法,并通過改變陽極的形狀和位置來提高陰極附近電位分布的均勻性。實驗結(jié)果表明,采用半圓弧形板作為陽極時,電鑄液空間電場分布均勻性和陰極附近電場分布均勻性有明顯的提高。因此,在實際應(yīng)用中半圓弧形陽極可以改善電鑄微器件的微觀結(jié)構(gòu),提高鑄層表面均勻性。
【作者單位】: 遼寧省新能源電池重點實驗室大連交通大學(xué);電氣信息學(xué)院大連交通大學(xué);精密與特種加工技術(shù)教育部重點實驗室大連理工大學(xué);遼寧省微納米技術(shù)與系統(tǒng)重點實驗室大連理工大學(xué);
【關(guān)鍵詞】: 微電鑄 電位 半圓形空心圓柱陽極 均勻性
【基金】:國家自然科學(xué)基金項目(51375077) 遼寧省自然科學(xué)基金項目(2015020117)
【分類號】:TQ153.4
【正文快照】: 微電鑄技術(shù)作為一種精密特種加工方法,主要應(yīng)用于傳統(tǒng)工藝難以加工的零部件制造。在微電鑄過程中,陰極電流密度的大小影響著電沉積的速度和電鑄層的組織結(jié)構(gòu)。在進(jìn)行復(fù)雜形狀零件的微電鑄時,由于陰極電流密度分布不均勻,會造成電鑄層的厚度和材料組織結(jié)構(gòu)不均勻[1]。大量研究,
本文編號:569475
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