航空航天領(lǐng)域中對于壓力的測量是比較廣泛的,例如,用于測量航天器升空過程中整流罩所受壓力,發(fā)動機葉柵的脈動壓力,直升飛機機翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、和機翼的抖動等。與此同時壓力的測量也是復(fù)雜的,這時候?qū)㈦y以測量的力學(xué)量轉(zhuǎn)化為易測量的電學(xué)量的壓阻材料將起到事半功倍的作用。當(dāng)前壓力傳感器的材料通常是單晶硅,但是其能承受的溫度較低。因此尋找一種新的壓力傳感器材料就顯得尤為重要。近些年研究的先驅(qū)體陶瓷材料具有優(yōu)異的耐高溫、抗腐蝕、抗燒蝕性能,而且有很高的壓阻系數(shù),因此其有可能成為制備航空航天領(lǐng)域壓力傳感器最有前途的材料。先驅(qū)體陶瓷材料是由非晶硅基體和自由碳兩部分形成。自由碳的導(dǎo)電率很高,成為先驅(qū)體陶瓷的導(dǎo)電相,對先驅(qū)體陶瓷的壓阻特性的影響十分重要。本文主要是通過工藝和材料兩個方面來對先驅(qū)體陶瓷的自由碳進行調(diào)控,第一:通過改變先驅(qū)體陶瓷制備時的裂解溫度,來調(diào)控自由碳的形態(tài);第二:對制備材料先驅(qū)體進行改性來調(diào)控自由碳的含量。進一步研究裂解溫度和自由碳含量對于先驅(qū)體陶瓷壓阻特性的影響。根據(jù)研究結(jié)果,改進工藝,最終制備出壓阻特性最高的先驅(qū)體陶瓷材料。首先:裂解溫度對于先驅(qū)體陶瓷壓阻特...

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【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題來源及研究的背景和意義
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 先驅(qū)體陶瓷的結(jié)構(gòu)
        1.2.2 先驅(qū)體陶瓷電性能
        1.2.3 先驅(qū)體陶瓷壓阻性能研究
    1.3 研究現(xiàn)狀分析
    1.4 主要研究內(nèi)容
第2章 實驗材料與實驗設(shè)備及方法
    2.1 引言
    2.2 實驗材料
    2.3 實驗設(shè)備
    2.4 實驗方法
        2.4.1 收縮率測試
        2.4.2 導(dǎo)電性測試
        2.4.3 元素分析
        2.4.4 致密度測試
        2.4.5 掃描電子顯微鏡分析
        2.4.6 X射線衍射分析
        2.4.7 X射線光電子能譜分析
        2.4.8 拉曼光譜分析
        2.4.9 納米壓痕分析
第三章 熱解溫度對SiBCN先驅(qū)體陶瓷壓阻性能影響
    3.1 引言
    3.2 不同熱解溫度SiBCN先驅(qū)體陶瓷的制備
        3.2.1 SiBCN先驅(qū)體固化
        3.2.2 坯體裂解
    3.3 SiBCN先驅(qū)體陶瓷高溫結(jié)構(gòu)演變規(guī)律
        3.3.1 XRD分析
        3.3.2 收縮率測試
        3.3.3 拉曼光譜
        3.3.4 導(dǎo)電性測試
        3.3.5 彈性模量測試
    3.4 不同裂解溫度SiBCN先驅(qū)體陶瓷壓阻特性研究
    3.5 本章小結(jié)
第四章 TVS含量對Si BCN先驅(qū)體陶瓷壓阻性能影響
    4.1 SiBCN先驅(qū)體的改性
    4.2 不同TVS含量的Si BCN先驅(qū)體陶瓷表征
        4.2.1 SiBCN先驅(qū)體陶瓷元素分析
        4.2.2 Si BCN先驅(qū)體陶瓷C1s光電子能譜分析
    4.3 不同TVS含量的Si BCN先驅(qū)體陶瓷的壓阻特性研究
    4.4 壓阻特性機理
    4.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文及其它成果
致謝



本文編號：3791523