發(fā)布時間：2021-12-30 05:43

　　對于半導(dǎo)體行業(yè)用超高純氘氣現(xiàn)無完善的分析方法。實驗建立了一種基于低溫氣相色譜-脈沖放電檢測器的超高純氘氣的分析方法。采用中心切割與柱切換技術(shù)設(shè)計了一套分析系統(tǒng),可以同時對氘氣中的O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂、HD進行分析。通過實驗確定了色譜的最佳工作參數(shù)和切閥時間。結(jié)果表明,該分析方法結(jié)果穩(wěn)定、重現(xiàn)性高,可以適用于工業(yè)檢驗。 

【文章來源】：低溫與特氣. 2020,38(05)

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

色譜分析流程圖

在色譜分析方法優(yōu)化后，結(jié)果表明:氘氣中O2、CH4、N2、CO、CO2、H2、HD的保留時間分別為252 s,323 s,420 s,540 s,765 s,1324 s,1466 s，優(yōu)化后的氦氣標(biāo)氣樣品譜圖見圖2。3.5檢出限

氘氣樣品分析譜圖


本文編號：3557592