基于目前西門子法多晶硅生產過程中三氯氫硅的還原過程的研究,介紹了Gibbs最小能法的模型方程的建立和求解過程;并通過模擬計算結果與生產統(tǒng)計數(shù)據(jù)的對比,證明了所建模型的正確性。同時,利用Gibbs最小能法分析了原料中四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅、氯化氫的含量以及反應溫度對還原產物中各種物質含量的影響,為相關的工程技術人員提供設計依據(jù)。 

【文章來源】：有色冶金節(jié)能. 2020,36(01)

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

氣相溫度對產物產量的影響

保持過程2的氣相溫度為800 ℃,在原料中增加適量的STC并同量減少TCS,模擬計算結果見表6。從表6可以看出,隨著原料中STC含量的增加,產物中硅量會減小,但DCS、TCS、STC的體積含量基本不變。圖3 TCS含量對最終產物產量的影響

圖2 DCS含量對最終產物產量的影響表6 原料中STC含量對產物產量的影響 H2∶TCS∶STC Si1 Si2 Si3 H2 SiH2Cl2 SiHCl3 SiCl4 75∶25∶0 1.29×102 9.64×101 1.41×10-1 7.80×10-1 9.03×10-3 1.28×10-1 8.19×10-2 75∶23∶2 1.04×102 4.68×101 9.24×10-3 7.81×10-1 5.44×10-3 1.13×10-1 1.00×10-1 75∶21∶4 8.13×101 6.30×101 1.17×10-1 7.72×10-1 6.91×10-3 1.23×10-1 9.82×10-2 75∶19∶6 6.11×101 5.21×101 1.09×10-1 7.67×10-1 6.16×10-3 1.21×10-1 1.06×10-1

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號：3509623