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基于換向脈沖的精密鍍金工藝研究

發(fā)布時間:2021-10-21 21:36
  金具有化學(xué)穩(wěn)定性高、耐腐蝕、柔軟的特點(diǎn),薄金層常作為零部件表面的保護(hù)層,要求低孔隙率和高厚度均勻性。脈沖電鍍是獲得鍍金層的常用方法,換向脈沖是在正向脈沖的基礎(chǔ)上增加反向脈沖,兼具脈沖電鍍陰極極化強(qiáng)、晶粒細(xì)致均勻和反向脈沖溶解鍍層凸出部位、降低濃差極化的優(yōu)點(diǎn),其較多的可調(diào)參數(shù)對鍍金的影響不同,可通過探究不同參數(shù)對鍍金質(zhì)量的影響規(guī)律,獲得優(yōu)化的參數(shù)組合,以提高鍍金層的綜合性能。本論文采用換向脈沖電鍍的方法,使用極化性、穩(wěn)定性較強(qiáng)的檸檬酸鹽電鍍金溶液,以優(yōu)化換向脈沖鍍金工藝,進(jìn)一步提高鍍金層致密性、厚度均勻性、電鍍速率并細(xì)化晶粒為研究目標(biāo),主要研究內(nèi)容如下:通過機(jī)理分析確定了換向脈沖較單向脈沖可以進(jìn)一步提高金屬離子的電鍍速率、鍍層的致密性和厚度均勻性。通過鍍層成形仿真分析得到換向脈沖較單向脈沖可以顯著提高鍍層的厚度均勻性,較大的正向脈沖平均電流密度和反向脈沖峰值電流密度有助于提高電鍍速率,較短的反向脈沖導(dǎo)通時間和較高的反向脈沖峰值電流密度有助于提高鍍層的厚度均勻性。確定了應(yīng)用于工藝實(shí)驗的換向脈沖波形;趽Q向脈沖鍍層成形仿真結(jié)果,設(shè)計了換向脈沖鍍金工藝單因素實(shí)驗、正交實(shí)驗方案,確定了評價工藝... 

【文章來源】:中國工程物理研究院北京市

【文章頁數(shù)】:98 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

基于換向脈沖的精密鍍金工藝研究


圖1.1鍍金層表面AFM圖??

微觀形貌,脈沖鍍,微觀,表面


?W.?J.Dauksher[29]等使用亞硫酸鈉體系電鍍金溶液在硅晶片上電鍍15|im的陣列金凸??起,凸起表面具有較低的表面粗糙度值,如圖1.2所示。??(a)15nm陣列金凸起結(jié)構(gòu)?(b)單一金凸起結(jié)構(gòu)??圖1.2亞硫酸鹽鍍金陣列結(jié)構(gòu)的微觀形貌??Lyubov?Sus等_在N,N-二甲基甲酰胺溶液中加入氯金酸和四丁基高氯酸銨,使用??脈沖電流在玻碳表面鍍金。隨著脈沖電位增大(0.3?V到1.6V),晶粒平均尺寸由375?nm??減小到80?nm。如圖1.3所示,微觀表面為致密胞狀顆粒,隨著脈沖數(shù)目的增加,金顆??粒團(tuán)聚且趨于致密。提高脈沖電位即陰極極化是細(xì)化鍍金層晶粒、提高鍍層致密性的重??要方法。??■國_?????。В??.????????HHH????0??■???■■?'?l*M?IW????:?????*”?*■?PMB??mjr?jm?w-^m^???钃_r?氤?-雇?aw?w??-?mm?"■?i?■?i??脈沖周期:(d)?137?(e)?616?(f)?1182??圖1.3脈沖鍍金微觀表面SEM圖??萬小波[31]在亞硫酸鹽電鍍金溶液中使用單向脈沖電流在空腔靶上電鍍金,實(shí)驗結(jié)果??表明,可獲得致密鍍金層的脈沖占空比范圍為1:9?1:18。吳濤等[32]在半導(dǎo)體激光器芯片??上使用脈沖電鍍厚金層,探宄脈沖占空比對鍍金層性能的影響規(guī)律。提出:較大的脈沖??占空比有助于提高鍍金層的厚度均勻性。??綜上所述,在不同的電鍍金溶液中,單向脈沖電鍍均可獲得較直流電鍍更好的鍍金??5??

換向脈沖,鍍金表面,偏光顯微鏡


?(c)占空比3:10??圖1.6換向脈沖鍍金表面偏光顯微鏡圖??雷婷等[36,M采用換向脈沖在酸性的無氰氯金酸溶液中電沉積金,微觀表面如圖1.7??所示。實(shí)驗結(jié)果表明,正向脈沖峰值電流密度從2.25?A/dm2增加到3.75?A/dm2,沉積層??晶粒細(xì)化,正向電流密度過大導(dǎo)致沉積層平整度下降;反向脈沖峰值電流密度從6A/dm2??增加到12A/dm2,晶粒尺寸增大,結(jié)構(gòu)變疏松。正向脈沖占空比由20%提高到60%,陰??極過電位增大,沉積層晶粒細(xì)化,正向脈沖占空比過大使沉積層內(nèi)部出現(xiàn)孔隙,致密度??下降;反向脈沖占空比從10%提高到40%,沉積層針孔增多,變薄變脆。陰極過電位由??低到高變化時,金沉積層的擇優(yōu)取向由(200)晶面變?yōu)椋ǎ保保保┖停ǎ玻玻玻┚;換向脈??沖各參數(shù)均存在適宜的范圍,改變脈沖電參數(shù)可以控制金沉積層的擇優(yōu)取向和均勻性。??■■■??HB??ipeak(r)=6A/dm2

【參考文獻(xiàn)】:
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本文編號:3449756

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