首先介紹了含氟電子氣體研究現狀,然后分析了含氟電子氣體相關的標準情況及發(fā)展趨勢。 

【文章來源】：低溫與特氣. 2020,38(01)

【文章頁數】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 含氟電子氣體研究現狀
2 含氟電子氣體相關標準現狀
    2.1 國外含氟電子氣體相關標準
    2.2 國內含氟電子氣體相關標準
3 含氟電子氣體標準發(fā)展趨勢
    3.1 緊跟行業(yè)發(fā)展
    3.2 重視標準布局
    3.3 瞄準國際先進
4 結束語


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3370509