淺析含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)
發(fā)布時(shí)間:2021-08-29 10:47
首先介紹了含氟電子氣體研究現(xiàn)狀,然后分析了含氟電子氣體相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)情況及發(fā)展趨勢(shì)。
【文章來(lái)源】:低溫與特氣. 2020,38(01)
【文章頁(yè)數(shù)】:6 頁(yè)
【文章目錄】:
0 引言
1 含氟電子氣體研究現(xiàn)狀
2 含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)狀
2.1 國(guó)外含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
2.2 國(guó)內(nèi)含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
3 含氟電子氣體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展趨勢(shì)
3.1 緊跟行業(yè)發(fā)展
3.2 重視標(biāo)準(zhǔn)布局
3.3 瞄準(zhǔn)國(guó)際先進(jìn)
4 結(jié)束語(yǔ)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]國(guó)內(nèi)含氟電子化學(xué)品現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)[J]. 潘紹忠,許響生,田志揚(yáng). 有機(jī)氟工業(yè). 2013(01)
[2]特氣業(yè)與半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展近況[J]. 林剛. 低溫與特氣. 2009(01)
[3]SEMI半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)的分析[J]. 賀東江. 冶金標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量. 2004(05)
[4]產(chǎn)業(yè)發(fā)展與半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化[J]. 包成良. 電子產(chǎn)品世界. 2003(18)
[5]SEMI標(biāo)準(zhǔn)在中國(guó)[J]. 中國(guó)集成電路. 2002(05)
本文編號(hào):3370509
【文章來(lái)源】:低溫與特氣. 2020,38(01)
【文章頁(yè)數(shù)】:6 頁(yè)
【文章目錄】:
0 引言
1 含氟電子氣體研究現(xiàn)狀
2 含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)狀
2.1 國(guó)外含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
2.2 國(guó)內(nèi)含氟電子氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
3 含氟電子氣體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展趨勢(shì)
3.1 緊跟行業(yè)發(fā)展
3.2 重視標(biāo)準(zhǔn)布局
3.3 瞄準(zhǔn)國(guó)際先進(jìn)
4 結(jié)束語(yǔ)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]國(guó)內(nèi)含氟電子化學(xué)品現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)[J]. 潘紹忠,許響生,田志揚(yáng). 有機(jī)氟工業(yè). 2013(01)
[2]特氣業(yè)與半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展近況[J]. 林剛. 低溫與特氣. 2009(01)
[3]SEMI半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)的分析[J]. 賀東江. 冶金標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量. 2004(05)
[4]產(chǎn)業(yè)發(fā)展與半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化[J]. 包成良. 電子產(chǎn)品世界. 2003(18)
[5]SEMI標(biāo)準(zhǔn)在中國(guó)[J]. 中國(guó)集成電路. 2002(05)
本文編號(hào):3370509
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/huaxuehuagong/3370509.html
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