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多晶硅還原爐裝備發(fā)展展望

發(fā)布時間:2021-08-21 07:44
  基于改良西門子多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備眾多,因此研究各類關(guān)鍵設(shè)備的特性是一件非常有意義的事情;還原爐作為最終產(chǎn)品的關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備,其性能的好壞對多晶硅的生產(chǎn)有著舉足輕重的作用,還原爐的大小、結(jié)構(gòu)形式、材質(zhì)等直接決定了多晶硅產(chǎn)品的品質(zhì)、能耗等關(guān)鍵生產(chǎn)參數(shù),因此本文就還原爐的特性進行分析,展望未來多晶硅還原爐的發(fā)展,旨在幫助各生產(chǎn)企業(yè)根據(jù)自身的發(fā)展需求選擇合適的還原爐爐型。 

【文章來源】:有色設(shè)備. 2020,(01)

【文章頁數(shù)】:4 頁

【參考文獻】:
期刊論文
[1]多晶硅能耗分析與節(jié)能實踐[J]. 嚴大洲,楊永亮,張升學(xué),萬燁,姚心,姜利霞,司文學(xué),馬志華.  電子科學(xué)技術(shù). 2014(02)
[2]基于Fluent對多晶硅還原爐的三維數(shù)值模擬及其優(yōu)化[J]. 姚心,汪紹芬,嚴大洲.  有色冶金節(jié)能. 2011(04)
[3]電子級多晶硅的生產(chǎn)工藝[J]. 梁駿吾.  中國工程科學(xué). 2000(12)



本文編號:3355182

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