納米金剛石超精磨磨具的成型工藝及組織調(diào)控
發(fā)布時(shí)間:2021-06-16 04:45
目前大部分的納米金剛石超精磨磨具是利用冷壓等傳統(tǒng)成型工藝制備的,無法獲得均勻的磨具組織結(jié)構(gòu),從而保證加工表面質(zhì)量的一致;而且通過傳統(tǒng)成型工藝制備的納米金剛石超精磨磨具氣孔率小且分布不均勻,使得納米金剛石超精磨磨具的磨削性能降低。因此,本文利用直接發(fā)泡凝膠注模成型工藝制備納米金剛石超精磨磨具,并通過對其工藝參數(shù)的調(diào)整,制備出了組織結(jié)構(gòu)均勻、氣孔率大于80%且金剛石分布均勻的納米金剛石超精磨磨具。利用直接發(fā)泡凝膠注模成型工藝制備具有超高氣孔率的陶瓷結(jié)合劑磨具,并對其組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)控。采用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)、熱分析儀(DSC-TG)和X射線衍射儀(XRD)等對陶瓷磨具樣品進(jìn)行了表征。首先對陶瓷結(jié)合劑與SiC混合漿料的粘度、懸浮穩(wěn)定性、固化時(shí)間和發(fā)泡量進(jìn)行了考察,并對磨具樣品燒結(jié)后的抗折強(qiáng)度、收縮率、氣孔率和體積密度進(jìn)行了測試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:當(dāng)檸檬酸銨(TAC)和聚丙烯酸銨(NH4PAA)的加入量分別為混合物漿料的1.8 wt.%和2 wt.%,且當(dāng)混合物漿料的pH值在10左右時(shí),漿料有較好的分散穩(wěn)定性;在80 mL的混合物漿料中,當(dāng)丙烯酰胺(AM)濃度在...
【文章來源】:燕山大學(xué)河北省
【文章頁數(shù)】:82 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
出版物數(shù)量(使用在線數(shù)據(jù)庫FIZ-DOMA/-WEMA進(jìn)行文獻(xiàn)檢索)
圖 1-2 超精密磨削技術(shù)特點(diǎn)的描述璃的超精密磨削[19]。超精密磨削工藝的選擇取決于接觸面,可以大概分為三個(gè)不同的工藝過程:面接觸接觸主要用于加工大量或中等數(shù)量的工件,而點(diǎn)接觸品的生產(chǎn)。由于工件和磨具僅在一個(gè)點(diǎn)上接觸,因此但生產(chǎn)效率很低。例如,用于制造非球面和自由曲超精密磨削[20]。對于集成電路(IC)制造,稱為“是基本的基板材料。硅晶片呈現(xiàn)單晶結(jié)構(gòu),具有較少境來確定晶體取向的特性。晶圓的加工工藝過程可切片、精加工、檢查和外延。加工后晶圓的直徑一般平整度和表面粗糙度的最高要求。構(gòu)的超精密磨削[21]。隨著微觀和納米級別的特征和,但工藝知識和機(jī)床設(shè)計(jì)無法縮小到微觀尺寸,這就
1.2 多孔陶瓷材料多孔陶瓷(PorousCeramics)由于具有高透過性、比表面積大、以及耐高溫、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn),逐漸應(yīng)用于過濾、隔熱、吸音和催化等領(lǐng)域[23, 24]。近年來,隨著多孔陶瓷材料潛力的進(jìn)一步開發(fā),其應(yīng)用領(lǐng)域也進(jìn)一步擴(kuò)展到了電子、光電和生物化學(xué)等諸多領(lǐng)域。1.2.1 泡沫陶瓷材料簡介泡沫陶瓷是一種由氣孔在三維空間上通過各種方式排列組成氣孔堆積結(jié)構(gòu)的新興陶瓷材料,并且其組織結(jié)構(gòu)(孔形狀、孔大小、氣孔率)和化學(xué)性能均可以通過對制備過程中的工藝參數(shù)的調(diào)整來調(diào)控。大部分的泡沫陶瓷材料是開孔結(jié)構(gòu)陶瓷,但其中會有少量的閉孔結(jié)構(gòu)存在。泡沫陶瓷除了具有多孔陶瓷材料的優(yōu)良性能,還具有高熱穩(wěn)定性、高氣孔率等優(yōu)異性能[25, 26]。不同結(jié)構(gòu)的泡沫陶瓷如圖 1-3 所示。(a) (b)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]ELID超精密鏡面磨削設(shè)備[J]. 張立新. 西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2018(02)
[2]泡沫分離法在表面活性劑廢水中的研究現(xiàn)狀[J]. 范金石,潘旭亮,劉麗娜,雷東. 山東化工. 2018(07)
[3]半導(dǎo)體硅晶片超精密加工研究[J]. 李媛. 電子工業(yè)專用設(shè)備. 2018(01)
[4]微振動(dòng)對超精密撞點(diǎn)加工精度影響[J]. 張一博,劉強(qiáng),顏志濤,周春強(qiáng),姚建華. 組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù). 2018(02)
[5]硬脆材料旋轉(zhuǎn)超聲加工技術(shù)的研究現(xiàn)狀及展望[J]. 馮平法,王健健,張建富,吳志軍. 機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2017(19)
[6]多孔陶瓷滲灌材料的導(dǎo)水性能研究[J]. 張永政,張?jiān)鲋?李亞男. 山東工業(yè)技術(shù). 2017(03)
[7]小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床的研發(fā)與應(yīng)用[J]. 尹韶輝,陳逢軍,龔勝,余劍武,尹自強(qiáng),關(guān)朝亮,曹成國,曹曉紅. 世界制造技術(shù)與裝備市場. 2016(04)
[8]精密超精密加工技術(shù)綜述[J]. 周甚. 科技風(fēng). 2016(09)
[9]多孔陶瓷的制備工藝及應(yīng)用的現(xiàn)狀[J]. 黃新友,馬旭,王選,孫旗. 中國陶瓷. 2015(09)
[10]晶圓超精密磨削加工表面層損傷的研究[J]. 張文斌,高岳,張敏杰. 電子工業(yè)專用設(shè)備. 2015(05)
博士論文
[1]單晶硅材料超精密磨削機(jī)理研究[D]. 陳卓.廣東工業(yè)大學(xué) 2013
碩士論文
[1]高分子網(wǎng)絡(luò)凝膠法陶瓷結(jié)合劑微納米金剛石磨具的制備[D]. 李亞朋.燕山大學(xué) 2016
[2]超細(xì)金剛石SiO2包覆及在多組元鹽溶液中分散穩(wěn)定性[D]. 王麗萍.燕山大學(xué) 2015
[3]直接發(fā)泡法制備結(jié)構(gòu)可控泡沫陶瓷[D]. 王敏.天津大學(xué) 2012
[4]高分子網(wǎng)絡(luò)凝膠法制備超細(xì)陶瓷結(jié)合劑及其表征[D]. 張貝貝.燕山大學(xué) 2010
本文編號:3232386
【文章來源】:燕山大學(xué)河北省
【文章頁數(shù)】:82 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
出版物數(shù)量(使用在線數(shù)據(jù)庫FIZ-DOMA/-WEMA進(jìn)行文獻(xiàn)檢索)
圖 1-2 超精密磨削技術(shù)特點(diǎn)的描述璃的超精密磨削[19]。超精密磨削工藝的選擇取決于接觸面,可以大概分為三個(gè)不同的工藝過程:面接觸接觸主要用于加工大量或中等數(shù)量的工件,而點(diǎn)接觸品的生產(chǎn)。由于工件和磨具僅在一個(gè)點(diǎn)上接觸,因此但生產(chǎn)效率很低。例如,用于制造非球面和自由曲超精密磨削[20]。對于集成電路(IC)制造,稱為“是基本的基板材料。硅晶片呈現(xiàn)單晶結(jié)構(gòu),具有較少境來確定晶體取向的特性。晶圓的加工工藝過程可切片、精加工、檢查和外延。加工后晶圓的直徑一般平整度和表面粗糙度的最高要求。構(gòu)的超精密磨削[21]。隨著微觀和納米級別的特征和,但工藝知識和機(jī)床設(shè)計(jì)無法縮小到微觀尺寸,這就
1.2 多孔陶瓷材料多孔陶瓷(PorousCeramics)由于具有高透過性、比表面積大、以及耐高溫、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn),逐漸應(yīng)用于過濾、隔熱、吸音和催化等領(lǐng)域[23, 24]。近年來,隨著多孔陶瓷材料潛力的進(jìn)一步開發(fā),其應(yīng)用領(lǐng)域也進(jìn)一步擴(kuò)展到了電子、光電和生物化學(xué)等諸多領(lǐng)域。1.2.1 泡沫陶瓷材料簡介泡沫陶瓷是一種由氣孔在三維空間上通過各種方式排列組成氣孔堆積結(jié)構(gòu)的新興陶瓷材料,并且其組織結(jié)構(gòu)(孔形狀、孔大小、氣孔率)和化學(xué)性能均可以通過對制備過程中的工藝參數(shù)的調(diào)整來調(diào)控。大部分的泡沫陶瓷材料是開孔結(jié)構(gòu)陶瓷,但其中會有少量的閉孔結(jié)構(gòu)存在。泡沫陶瓷除了具有多孔陶瓷材料的優(yōu)良性能,還具有高熱穩(wěn)定性、高氣孔率等優(yōu)異性能[25, 26]。不同結(jié)構(gòu)的泡沫陶瓷如圖 1-3 所示。(a) (b)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]ELID超精密鏡面磨削設(shè)備[J]. 張立新. 西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2018(02)
[2]泡沫分離法在表面活性劑廢水中的研究現(xiàn)狀[J]. 范金石,潘旭亮,劉麗娜,雷東. 山東化工. 2018(07)
[3]半導(dǎo)體硅晶片超精密加工研究[J]. 李媛. 電子工業(yè)專用設(shè)備. 2018(01)
[4]微振動(dòng)對超精密撞點(diǎn)加工精度影響[J]. 張一博,劉強(qiáng),顏志濤,周春強(qiáng),姚建華. 組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù). 2018(02)
[5]硬脆材料旋轉(zhuǎn)超聲加工技術(shù)的研究現(xiàn)狀及展望[J]. 馮平法,王健健,張建富,吳志軍. 機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2017(19)
[6]多孔陶瓷滲灌材料的導(dǎo)水性能研究[J]. 張永政,張?jiān)鲋?李亞男. 山東工業(yè)技術(shù). 2017(03)
[7]小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床的研發(fā)與應(yīng)用[J]. 尹韶輝,陳逢軍,龔勝,余劍武,尹自強(qiáng),關(guān)朝亮,曹成國,曹曉紅. 世界制造技術(shù)與裝備市場. 2016(04)
[8]精密超精密加工技術(shù)綜述[J]. 周甚. 科技風(fēng). 2016(09)
[9]多孔陶瓷的制備工藝及應(yīng)用的現(xiàn)狀[J]. 黃新友,馬旭,王選,孫旗. 中國陶瓷. 2015(09)
[10]晶圓超精密磨削加工表面層損傷的研究[J]. 張文斌,高岳,張敏杰. 電子工業(yè)專用設(shè)備. 2015(05)
博士論文
[1]單晶硅材料超精密磨削機(jī)理研究[D]. 陳卓.廣東工業(yè)大學(xué) 2013
碩士論文
[1]高分子網(wǎng)絡(luò)凝膠法陶瓷結(jié)合劑微納米金剛石磨具的制備[D]. 李亞朋.燕山大學(xué) 2016
[2]超細(xì)金剛石SiO2包覆及在多組元鹽溶液中分散穩(wěn)定性[D]. 王麗萍.燕山大學(xué) 2015
[3]直接發(fā)泡法制備結(jié)構(gòu)可控泡沫陶瓷[D]. 王敏.天津大學(xué) 2012
[4]高分子網(wǎng)絡(luò)凝膠法制備超細(xì)陶瓷結(jié)合劑及其表征[D]. 張貝貝.燕山大學(xué) 2010
本文編號:3232386
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