發(fā)布時(shí)間：2021-05-20 03:31

　　本文主要對多層硅外延自摻雜現(xiàn)象的進(jìn)行科學(xué)研究,并分析了不同工藝處理?xiàng)l件對其自摻雜現(xiàn)象的影響,提出幾點(diǎn)改善措施,期望對相關(guān)多層硅自摻雜現(xiàn)象研究人員有幫助。 

【文章來源】：科技風(fēng). 2020,(13)

【文章頁數(shù)】：1 頁

【文章目錄】：
1 多層硅外延自摻雜試驗(yàn)以及數(shù)據(jù)整理分析
2 不同工藝技術(shù)對多層硅外延自摻雜現(xiàn)象的影響
3 改善多層硅外延自摻雜現(xiàn)象的有效措施
4 結(jié)語



本文編號(hào)：3197001