用于切割生產(chǎn)硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生產(chǎn)。采用CZ法生產(chǎn)過程中,由于設(shè)備故障、人員操作等因素經(jīng)常會產(chǎn)生局部不良導(dǎo)致提斷處理,提斷會導(dǎo)致整棒報(bào)廢,損失較大,成本增加明顯。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際,實(shí)驗(yàn)出一種融接工藝,可以使提斷后硅棒繼續(xù)生長,同時融接面沒有隱裂、氣泡等不良。經(jīng)檢驗(yàn)該工藝滿足生產(chǎn)要求,基本可以避免提斷損失。 

【文章來源】：山西化工. 2020,40(02)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

直徑200 mm與直徑193 mm硅芯棒可切割硅芯數(shù)量對比

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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