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切割用直拉硅芯原料棒工藝特點(diǎn)探討

發(fā)布時(shí)間:2021-03-24 11:45
  用于切割生產(chǎn)硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生產(chǎn)。采用CZ法生產(chǎn)過程中,由于設(shè)備故障、人員操作等因素經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生局部不良導(dǎo)致提斷處理,提斷會(huì)導(dǎo)致整棒報(bào)廢,損失較大,成本增加明顯。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際,實(shí)驗(yàn)出一種融接工藝,可以使提斷后硅棒繼續(xù)生長(zhǎng),同時(shí)融接面沒有隱裂、氣泡等不良。經(jīng)檢驗(yàn)該工藝滿足生產(chǎn)要求,基本可以避免提斷損失。 

【文章來源】:山西化工. 2020,40(02)

【文章頁數(shù)】:3 頁

【部分圖文】:

切割用直拉硅芯原料棒工藝特點(diǎn)探討


直徑200 mm與直徑193 mm硅芯棒可切割硅芯數(shù)量對(duì)比

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[2]硅芯制備技術(shù)及對(duì)沉積多晶硅棒雜質(zhì)的影響[J]. 史冰川,董俊,李昆,黃磊,亢若谷,邱建備.  材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2016(03)
[3]電子級(jí)多晶硅的生產(chǎn)工藝[J]. 梁駿吾.  中國工程科學(xué). 2000(12)



本文編號(hào):3097662

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