針對國內(nèi)外主流的改良西門子法多晶硅制備工藝存在的高能耗、低效率、投資成本高等問題,引入綠色制造理念與技術(shù),采用先進冷氫化技術(shù)、多晶硅生產(chǎn)線資源再利用技術(shù)及不凝氣深度回收技術(shù)等技術(shù),對多晶硅生產(chǎn)設(shè)備、技術(shù)、回收利用等制備環(huán)節(jié)進行改善,實現(xiàn)工藝優(yōu)化、節(jié)能降耗、減輕污染和質(zhì)量提升。 

【文章來源】：信息技術(shù)與標準化. 2020,(06)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

改良西門子法多晶硅制備工藝流程圖

先進冷氫化系統(tǒng)是超低消耗的原料供應(yīng)系統(tǒng),主要包括物料加熱技術(shù)、旋風分離技術(shù)及內(nèi)件技術(shù)等都是影響冷氫化系統(tǒng)節(jié)能降耗的關(guān)鍵技術(shù),基于此研究出的先進冷氫化系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)單套系統(tǒng)可實現(xiàn)年產(chǎn)12萬噸三氯氫硅,生產(chǎn)單耗僅為10 kwh/kg-Si。用先進冷氫化系統(tǒng)取代傳統(tǒng)的熱氫化系統(tǒng)和三氯氫硅合成系統(tǒng),消除復(fù)雜的供料體系,進而使冷氫化單一系統(tǒng)完成原料供應(yīng),實現(xiàn)原料的綠色生產(chǎn)。(2)將熱氫化系統(tǒng)改造為多晶硅沉積系統(tǒng),實現(xiàn)綠色改造升級


本文編號：3058498