電子級(jí)氯化氫是電子工業(yè)常用的高純化學(xué)氣體,隨著集成電路的快速發(fā)展,對(duì)氯化氫的雜質(zhì)含量要求越來(lái)越嚴(yán)格。簡(jiǎn)述了電子級(jí)氯化氫的主要用途和現(xiàn)狀,簡(jiǎn)介了工業(yè)級(jí)氯化氫的生產(chǎn)方法,介紹了電子級(jí)氯化氫生產(chǎn)過(guò)程中各種精制方法及其研究進(jìn)展,主要是低溫精餾法、吸附法和化學(xué)反應(yīng)法。最后對(duì)三種方法進(jìn)行了討論和對(duì)比,指出了精制工藝的研究重點(diǎn)是針對(duì)其中不同的微量雜質(zhì)選用不同的工藝或工藝組合,并展望了電子級(jí)氯化氫的國(guó)產(chǎn)化前景。 

【文章來(lái)源】：低溫與特氣. 2020,38(04)

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 前言
2 氯化氫的精制方法
    2.1 低溫精餾法
    2.2 選擇吸附法
    2.3 化學(xué)反應(yīng)法
3 總結(jié)展望


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]氯化氫的純化工藝研究進(jìn)展[J]. 柳彤,彭立培,鄭秋艷.  低溫與特氣. 2017(03)
[2]電子級(jí)高純氯化氫的研制[J]. 張鳳林.  低溫與特氣. 1990(02)
[3]電子級(jí)氯化氫氣體研制的進(jìn)展[J]. 孔祥芝.  化學(xué)試劑. 1990(03)



本文編號(hào)：3058437