電子級氯化氫是電子工業(yè)常用的高純化學(xué)氣體,隨著集成電路的快速發(fā)展,對氯化氫的雜質(zhì)含量要求越來越嚴格。簡述了電子級氯化氫的主要用途和現(xiàn)狀,簡介了工業(yè)級氯化氫的生產(chǎn)方法,介紹了電子級氯化氫生產(chǎn)過程中各種精制方法及其研究進展,主要是低溫精餾法、吸附法和化學(xué)反應(yīng)法。最后對三種方法進行了討論和對比,指出了精制工藝的研究重點是針對其中不同的微量雜質(zhì)選用不同的工藝或工藝組合,并展望了電子級氯化氫的國產(chǎn)化前景。 

【文章來源】：低溫與特氣. 2020,38(04)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
1 前言
2 氯化氫的精制方法
    2.1 低溫精餾法
    2.2 選擇吸附法
    2.3 化學(xué)反應(yīng)法
3 總結(jié)展望


【參考文獻】：
期刊論文
[1]氯化氫的純化工藝研究進展[J]. 柳彤,彭立培,鄭秋艷.  低溫與特氣. 2017(03)
[2]電子級高純氯化氫的研制[J]. 張鳳林.  低溫與特氣. 1990(02)
[3]電子級氯化氫氣體研制的進展[J]. 孔祥芝.  化學(xué)試劑. 1990(03)



本文編號：3058437