發(fā)布時(shí)間：2021-02-12 04:16

　　多晶硅鑄錠在生產(chǎn)中采用的氬氣排空方式存在生產(chǎn)成本高、電力消耗大、環(huán)境污染嚴(yán)重的問題�；诖吮疚奶岢龆嗑цT錠生產(chǎn)中氬氣循環(huán)利用技術(shù),通過采用一套真空泵聯(lián)機(jī)多臺(tái)多晶硅鑄錠爐的技術(shù),研發(fā)了一套純化單元及控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了氬氣的循環(huán)再利用。多次采集的氣體實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本文所提出的技術(shù)研究降低了生產(chǎn)成本,減少了氬氣的浪費(fèi),在一定程度上降低了因氬氣的排放對大氣造成的污染,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了光伏環(huán)境友好型的綠色發(fā)展。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2020,40(11)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 技術(shù)方案
2 分析測試
    2.1 測試回收氣體成分
    2.2 測試儀器簡介
    2.3 氣體取樣方法
    2.4 測試結(jié)果
3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    3.1 真空系統(tǒng)的聯(lián)機(jī)和抽氣量的確定
        3.1.1 真空系統(tǒng)的聯(lián)機(jī)確定
        3.1.2 最大抽氣量的確定
    3.2 氬氣回收系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
        3.2.1 氬氣純化單元
        3.2.2 氬氣脫氧原理
    3.3 控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
4 運(yùn)行成本及經(jīng)濟(jì)效益
5 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]超高真空中鍺襯底上鐵鍺化合物納米結(jié)構(gòu)的外延生長[J]. 施凱娟,鄒志強(qiáng),劉曉勇.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2017(05)
[2]氬氣流量對多晶硅定向凝固爐熱場的影響[J]. 李早陽,劉立軍,馬文成,余慶華,李凱.  工程熱物理學(xué)報(bào). 2012(01)
[3]大型過壓燒結(jié)爐氬氣供應(yīng)及回收凈化系統(tǒng)[J]. 李曉,匡社穎.  湖南有色金屬. 2003(01)



本文編號：3030245