石英玻璃具有熱膨脹系數(shù)低、光譜特征良好、電絕緣性高等特性,被廣泛應(yīng)用在航空航天、半導(dǎo)體通訊、激光和電學(xué)裝備等領(lǐng)域。然而傳統(tǒng)的加工方法已經(jīng)滿(mǎn)足不了石英玻璃的應(yīng)用要求,超精密磨削加工具有加工精度高、表面質(zhì)量好、亞表面損傷小、效率高和成本低等優(yōu)勢(shì),越來(lái)越多的應(yīng)用到光學(xué)硬脆材料加工領(lǐng)域。但是磨削過(guò)程不可避免的會(huì)對(duì)石英玻璃表面/亞表面引入一定程度的損傷,使得光學(xué)零件成像質(zhì)量差、穩(wěn)定性低甚至危害到整個(gè)系統(tǒng)的使用安全,必須進(jìn)一步通過(guò)后續(xù)的拋光工藝去除磨削產(chǎn)生的損傷層,磨削工件的表面/亞表面質(zhì)量極大地影響后續(xù)拋光工藝的加工效率。因此,研究石英玻璃超精密磨削的表面完整性對(duì)于分析其材料去除機(jī)理、優(yōu)化磨削工藝具有重要的指導(dǎo)意義。本文利用#400、#1500、#2000和#5000金剛石砂輪,通過(guò)石英玻璃超精密磨削試驗(yàn),研究了砂輪粒度對(duì)石英玻璃磨削表面微觀形貌、表面粗糙度、表面/亞表面損傷特征、亞表面損傷深度和表面力學(xué)特性的影響。通過(guò)對(duì)比不同粒度金剛石砂輪磨削時(shí)的磨粒切削深度和石英玻璃的脆—塑轉(zhuǎn)變深度,分析了不同粒度金剛石砂輪磨削石英玻璃的材料去除機(jī)理。在此基礎(chǔ)上,研究了脆性域磨削石英玻璃的表面粗糙度PV（P... 

【文章來(lái)源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：65 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 選題背景
        1.1.1 石英玻璃的特性、應(yīng)用
        1.1.2 石英玻璃的制備工藝
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 石英玻璃的加工方法
        1.2.2 表面完整性的檢測(cè)方法
    1.3 課題來(lái)源及主要研究?jī)?nèi)容
2 石英玻璃超精密磨削實(shí)驗(yàn)及表面損傷檢測(cè)
    2.1 磨削實(shí)驗(yàn)
        2.1.1 實(shí)驗(yàn)樣品
        2.1.2 磨床與砂輪
    2.2 表面損傷檢測(cè)方法
        2.2.1 光學(xué)顯微鏡觀測(cè)
        2.2.2 掃描電子顯微鏡觀測(cè)
        2.2.3 表面輪廓儀觀測(cè)
    2.3 表面損傷檢測(cè)結(jié)果及分析
        2.3.1 砂輪粒度對(duì)表面形貌影響
        2.3.2 砂輪粒度對(duì)表面粗糙度影響
    2.4 本章小結(jié)
3 石英玻璃超精密磨削亞表面損傷檢測(cè)
    3.1 亞表面損傷檢測(cè)方法
        3.1.1 角度截面顯微觀測(cè)法
        3.1.2 透射電子顯微鏡觀測(cè)法
    3.2 亞表面損傷檢測(cè)結(jié)果及分析
        3.2.1 砂輪粒度對(duì)亞表面損傷深度影響
        3.2.2 砂輪粒度與亞表面損傷形式
    3.3 損傷層力學(xué)特性分析
    3.4 本章小結(jié)
4 材料去除機(jī)理分析與亞表面損傷深度預(yù)測(cè)模型
    4.1 材料去除機(jī)理分析
        4.1.1 實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象觀察
        4.1.2 理論計(jì)算分析
    4.2 亞表面裂紋深度預(yù)測(cè)
    4.3 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
碩士期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3029947