<正>林德集團最近宣布,其為積塔半導體建造的一臺制氮機在上海開機成功,林德與積塔半導體簽訂了一份為期20年的超高純工業(yè)用氣供應合約,目前開機運行的為計劃建造的兩臺高純制氮機中的第一臺,第二臺預計將于2022年上線啟用。該臺制氮機位于上海臨港產業(yè)區(qū),將為積塔半導體造價高達 

【文章來源】：上海化工. 2020,45(03)

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