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裂解溫度對(duì)聚合物轉(zhuǎn)化SiCN陶瓷高溫壓阻性能的影響

發(fā)布時(shí)間:2021-01-26 21:13
  隨著微電子與電力工程技術(shù)領(lǐng)域的迅速發(fā)展,對(duì)可用于航天發(fā)動(dòng)機(jī)和重型燃?xì)廨啓C(jī)等高溫系統(tǒng)中在線監(jiān)測(cè)的長壽命高精度高溫壓力傳感器需求不斷增加。這類傳感器主要用于監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度、壓力、熱流量、以及結(jié)構(gòu)的應(yīng)力/應(yīng)變等物理參數(shù)。所得參數(shù)將用于系統(tǒng)的反饋控制、優(yōu)化設(shè)計(jì)和安全監(jiān)測(cè),進(jìn)而提高系統(tǒng)的效率、安全性和降低污染。其中,高溫壓力傳感器是下一代發(fā)動(dòng)機(jī)和燃?xì)廨啓C(jī)的核心技術(shù),是目前世界各主要國家都將其列為優(yōu)先發(fā)展的領(lǐng)域之一。然而目前的高溫壓阻材料已無法滿足現(xiàn)有需求,例如SiC雖能在高溫下工作,但其壓阻系數(shù)只有40左右,靈敏度低且加工困難。聚合物轉(zhuǎn)化陶瓷因具有非常良好的高溫穩(wěn)定性及極其優(yōu)異的高壓阻系數(shù)被視為是一種非常有潛力的高溫溫度/壓力傳感器材料。本文以聚合物轉(zhuǎn)化SiCN陶瓷在溫度/壓力傳感器上的應(yīng)用為背景,選取中國科學(xué)院化學(xué)研究所提供的商業(yè)化聚硅氮烷為前驅(qū)體,詳細(xì)研究了SiCN陶瓷的顯微結(jié)構(gòu)和壓阻性能隨裂解溫度的演變規(guī)律,建立了陶瓷電學(xué)性能和顯微結(jié)構(gòu)的關(guān)系,分析了影響陶瓷壓阻特性的關(guān)鍵因素,為陶瓷壓阻性能調(diào)節(jié)提供了理論基礎(chǔ)。主要研究內(nèi)容和結(jié)果如下:(1)研究了非晶態(tài)SiCN陶瓷的顯微結(jié)構(gòu)及其在110... 

【文章來源】:西南交通大學(xué)四川省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:81 頁

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

裂解溫度對(duì)聚合物轉(zhuǎn)化SiCN陶瓷高溫壓阻性能的影響


聚合物轉(zhuǎn)化陶瓷技術(shù)路線圖

前驅(qū)體,陶瓷體,Si基,聚硅氮烷


圖 1-2 常見的 Si 基陶瓷體系以及對(duì)應(yīng)的前驅(qū)體[13]前驅(qū)體還可以通過引入金屬元素來提升陶瓷產(chǎn)物的特定性能要聚硅氮烷中引入 Ti,可防止制備的 Tyranno Lox 纖維高溫晶化前驅(qū)體聚硅氮烷中引入適量 Al 可以明顯提高陶瓷的抗氧化性體交聯(lián)固化與成型前驅(qū)體的交聯(lián)固化處理是指將低聚物硅氮烷中支鏈型或線型分立體型骨架結(jié)構(gòu)的大分子聚合物的過程。通過前驅(qū)體的交聯(lián)固部分低聚物的揮發(fā),是提高陶瓷致密度和產(chǎn)率的重要方法。交交聯(lián)和化學(xué)交聯(lián)。是將合成的低聚合度先驅(qū)體在一定溫度下的固化過程。在較低

熱重曲線,熱重曲線,陶瓷,高溫設(shè)備


圖 1-3 SiBCN 陶瓷,Si3N4和 SiCN 陶瓷的熱重曲線[25]高溫下的穩(wěn)定性是陶瓷性能的一項(xiàng)重要指標(biāo),聚合物轉(zhuǎn)化陶瓷定性,使得這一類材料在高溫設(shè)備領(lǐng)域極具應(yīng)用潛力。圖 1-3 為熱重曲線[25]。研究表明 SiCN 陶瓷能在 1400oC 保持穩(wěn)定的非晶失重(碳熱還原反應(yīng))并漸漸晶化。

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]聚碳硅烷和二乙烯基苯的交聯(lián)及納米SiC陶瓷的制備[J]. 張磊,趙東林,沈曾民.  材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2009(03)
[2]先驅(qū)體轉(zhuǎn)化法制備耐高溫Si-Al-C-O纖維[J]. 鄭春滿,李效東,余煜璽,曹峰.  材料工程. 2004(12)
[3]壓阻式金剛石壓力微傳感器的制作與測(cè)試[J]. 凌行,莘海維,張志明,孫方宏,戴永兵,沈荷生.  微細(xì)加工技術(shù). 2003(02)
[4]高溫壓力傳感器現(xiàn)狀與展望[J]. 張為,姚素英,張生才,劉艷艷,曲宏偉.  儀表技術(shù)與傳感器. 2002(04)
[5]SiC薄膜高溫壓力傳感器[J]. 朱作云,李躍進(jìn),楊銀堂,柴常春,賈護(hù)軍,韓小亮,王文襄,劉秀娥,王麥廣.  傳感器技術(shù). 2001(02)

博士論文
[1]聚合物轉(zhuǎn)化SiCO及SiBCN陶瓷結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能研究[D]. 王珂瑋.西北工業(yè)大學(xué) 2016



本文編號(hào):3001823

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