針對(duì)目前鑄錠產(chǎn)品的品質(zhì)效果缺乏有效及時(shí)的在線測(cè)試方法,本文提出了多晶硅鑄錠生產(chǎn)氣體在線檢測(cè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)對(duì)鑄錠生產(chǎn)過(guò)程中排出的工藝性尾氣——?dú)鍤膺M(jìn)行干泵取樣、增壓測(cè)試、實(shí)時(shí)分析等技術(shù),實(shí)現(xiàn)了在線式自動(dòng)取樣實(shí)時(shí)分析,超限報(bào)警的功能,可實(shí)時(shí)根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程中爐腔內(nèi)氣氛的變化,提早發(fā)現(xiàn)鑄錠爐的故障和異常,減少異常產(chǎn)品的出產(chǎn)率。通過(guò)后續(xù)電池?cái)?shù)據(jù)的支撐,可確定設(shè)備漏水和漏氣的極限值,達(dá)到精細(xì)化調(diào)控硅錠質(zhì)量、危險(xiǎn)預(yù)警的效果,為鑄錠氬氣回收系統(tǒng)做好預(yù)研的準(zhǔn)備。 

【文章來(lái)源】：人工晶體學(xué)報(bào). 2020,49(06)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【部分圖文】：

鑄錠爐示意圖

圖1 鑄錠爐示意圖通過(guò)利用相應(yīng)的檢測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的掌握鑄錠生產(chǎn)是否出現(xiàn)異常。本文使用賽默飛世爾NICOLETE6700碳氧測(cè)試儀測(cè)試硅錠中的碳氧含量,該碳氧測(cè)試儀通過(guò)ETC監(jiān)控,使紅外光源能量穩(wěn)定輸出,確保光源整個(gè)壽命中均可保證性能一致,從而得到穩(wěn)定的高質(zhì)量紅外圖譜;還可通過(guò)“Turbo”模式獲得超出常規(guī)能量25%高能量輸出,以滿足特殊測(cè)試要求。本文使用GC-950氣相色譜儀、GC-2014C氣相色譜儀測(cè)試所采集的氣體樣本,其中,GC-950氣相色譜儀可以滿足廣大色譜用戶常規(guī)分析和工廠車間日常分析要求,優(yōu)勢(shì)眾多,可廣泛應(yīng)用于化工、化學(xué)、環(huán)境保護(hù)等諸多分析領(lǐng)域;GC-2014C氣相色譜儀具有高擴(kuò)展性和操作簡(jiǎn)便性的特點(diǎn),為石油化工、食品分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)等諸多領(lǐng)域提供了完備的解決方案,具有極高的性價(jià)比。

鑄錠標(biāo)準(zhǔn)工藝示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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