AlN陶瓷具有高熱導(dǎo)率、優(yōu)異的絕緣性能和介電性能、強(qiáng)抗腐蝕能力以及與硅相接近的熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn),被廣泛用作大規(guī)模集成電路（LIC）封裝基板、靜電卡盤、透明陶瓷等方面。本實(shí)驗(yàn)通過摻雜燒結(jié)助劑和力學(xué)性能增強(qiáng)劑Y-PSZ分別制備AlN陶瓷漿料。采用有機(jī)體系流延成型工藝制備出了形貌均一、柔韌性符合要求的AlN生帶。并對(duì)生帶進(jìn)行剪切、疊壓、排膠,最后進(jìn)行高溫常壓燒結(jié),最終獲得致密度最高超過98%的AlN陶瓷。在AlN陶瓷的制備工藝過程中,對(duì)有機(jī)流延工藝中的不同影響因素進(jìn)行了系統(tǒng)研究,并對(duì)不同組成成分的AlN陶瓷燒結(jié)體的性能、顯微結(jié)構(gòu)、物相組成進(jìn)行分析。主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容如下:（1）研究不同質(zhì)量分?jǐn)?shù)的三油酸甘油酯對(duì)流延漿料的分散效果,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,當(dāng)添加量為6wt%時(shí),AlN漿料的粘度最低且最穩(wěn)定。除此之外,漿料固含量、球磨時(shí)間、塑性劑與粘結(jié)劑的比值（即R值）也是影響漿料流變性能的重要因素。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,漿料固含量為60wt%,球磨8h,R值取0.7時(shí),得到的漿料流變性能最佳,呈現(xiàn)出剪切變稀的假塑性流體特性,有利于流延成型工藝的進(jìn)行。（2）往AlN中摻雜燒結(jié)助劑CeO₂,可以有利于... 

【文章來源】：華中科技大學(xué)湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：89 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

AlN的晶體結(jié)構(gòu)圖

華 中 科 技 大 學(xué) 碩 士 學(xué) 位 論 文凝膠注模成型技術(shù)，是將環(huán)氧樹脂單體聚合技術(shù)運(yùn)用到陶瓷成型制造領(lǐng)域的新型成型技術(shù)[25]。先將粉體與溶劑、分散劑進(jìn)行球磨混合，得到高固相含量、度（小于 1Pa·s）的預(yù)混液，然后加入環(huán)氧樹脂作為成型單體，通過添加引發(fā)化劑、催化劑以及控制外界溫度和固化時(shí)間等來誘導(dǎo)環(huán)氧樹脂單體發(fā)生交聯(lián)固成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)作為 AlN 生坯成型骨架，使?jié){料發(fā)生原位固化成型[26]。控制度和濕度等使坯體得到充分干燥，經(jīng)機(jī)械加工后得到強(qiáng)度較高的生坯。主要工程如圖 1-2 所示。

圖 1-3 流延設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖Fig. 1-3 Structural schematic diagram of tape casting equipment成型體系組分的選擇料際的流延工藝流程中，粉體固相含量應(yīng)在保證漿料具有合理的粘的高，因?yàn)樵谏鞯呐拍z過程中，會(huì)發(fā)生有機(jī)物的揮發(fā)、分解、體中會(huì)存在大量原有機(jī)物留下的空孔，而顆粒間距離的增大使生頸的出現(xiàn)變的困難，不利于最終燒結(jié)體致密度的提高。此外，粉徑尺寸、分布也都會(huì)影響最終燒結(jié)體的致密化[32]。劑制備出均勻分散且穩(wěn)定的流延漿料，溶劑作為成型漿料的基體，

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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