發(fā)布時間：2021-01-16 04:23

　　利用磁控濺射法,在不同工作壓強(qiáng)下制備了氧化鎢（WO₃）薄膜,研究了工作壓強(qiáng)對WO₃膜層微觀結(jié)構(gòu)的調(diào)控作用,并研究了WO₃膜層微觀結(jié)構(gòu)對其電致變色性能的影響。研究結(jié)果表明,制備的WO₃薄膜屬于非晶相,表面呈峰狀結(jié)構(gòu);隨著工作壓強(qiáng)的增大,WO₃薄膜膜層微觀結(jié)構(gòu)變疏松,電致變色響應(yīng)時間和循環(huán)壽命均減短;在最佳膜層微觀結(jié)構(gòu)下,WO₃薄膜光學(xué)密度可達(dá)0.64,循環(huán)壽命達(dá)1500周。 

【文章來源】：激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017,54(11)北大核心

【文章頁數(shù)】：8 頁

【部分圖文】：

圖３不同工作壓強(qiáng)下ＷＯ３膜的ＡＦＭ形貌Ｆｉｇ．３ＡＦＭｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆＷＯ３ｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ

５４，１１３１０３（２０１７）激光與光電子學(xué)進(jìn)展ｗｗｗ．ｏｐｔｉｃｓｊｏｕｒｎａｌ．ｎｅｔ圖３不同工作壓強(qiáng)下ＷＯ３膜的ＡＦＭ形貌Ｆｉｇ．３ＡＦＭｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆＷＯ３ｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ圖４不同工作壓強(qiáng)下ＷＯ３膜的ＳＥＭ形貌Ｆｉｇ．４ＳＥＭｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆＷＯ３ｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ不同工作壓強(qiáng)下鍍在ＩＴＯ導(dǎo)電玻璃上的氧化鎢薄膜的ＸＲＤ圖譜如圖５所示，可以看到，曲線ｃ、ｄ、ｅ的出峰位置與ＩＴＯ晶型標(biāo)準(zhǔn)曲線ａ的特征峰相對應(yīng)，沒有出現(xiàn)結(jié)晶型氧化鎢的特征峰，因此，不同工作壓強(qiáng)下制備的氧化鎢薄膜是非晶態(tài)，與文獻(xiàn)［１１］的報道相符。圖５不同工作壓強(qiáng)下的ＷＯ３及ＩＴＯ的ＸＲＤ譜Ｆｉｇ．５ＸＲＤｓｐｅｃｔｒａｏｆＷＯ３ａｎｄＩＴＯｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ３．３不同工作壓強(qiáng)下的氧化鎢薄膜的孔隙率及光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行濺射鍍膜時，工作壓強(qiáng)的大小會直接影響鍍膜的沉積速率和膜層的結(jié)構(gòu)。不同工作壓強(qiáng)下制備的氧化鎢膜層的孔隙率如表４所示，可以看出，工作壓強(qiáng)越大，氧化鎢膜的折射率（在波長６３２．８ｎｍ處測得）越小，折射率主要與膜層的化學(xué)配比、結(jié)晶程度及膜層微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。根據(jù)３．１節(jié)的氧氬體積流量比討論和３．２節(jié)的ＸＲＤ測試結(jié)果可知，不同工作壓強(qiáng)下的ＷＯ３膜層的化學(xué)配比和結(jié)晶程度相同；根據(jù)３．２節(jié)的ＡＦＭ和ＳＥＭ分析結(jié)果可知，工作壓強(qiáng)影響膜層微觀結(jié)構(gòu)的疏松程度，因此實(shí)驗(yàn)中折

１７）激光與光電子學(xué)進(jìn)展ｗｗｗ．ｏｐｔｉｃｓｊｏｕｒｎａｌ．ｎｅｔ圖３不同工作壓強(qiáng)下ＷＯ３膜的ＡＦＭ形貌Ｆｉｇ．３ＡＦＭｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆＷＯ３ｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ圖４不同工作壓強(qiáng)下ＷＯ３膜的ＳＥＭ形貌Ｆｉｇ．４ＳＥＭｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｆＷＯ３ｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ不同工作壓強(qiáng)下鍍在ＩＴＯ導(dǎo)電玻璃上的氧化鎢薄膜的ＸＲＤ圖譜如圖５所示，可以看到，曲線ｃ、ｄ、ｅ的出峰位置與ＩＴＯ晶型標(biāo)準(zhǔn)曲線ａ的特征峰相對應(yīng)，沒有出現(xiàn)結(jié)晶型氧化鎢的特征峰，因此，不同工作壓強(qiáng)下制備的氧化鎢薄膜是非晶態(tài)，與文獻(xiàn)［１１］的報道相符。圖５不同工作壓強(qiáng)下的ＷＯ３及ＩＴＯ的ＸＲＤ譜Ｆｉｇ．５ＸＲＤｓｐｅｃｔｒａｏｆＷＯ３ａｎｄＩＴＯｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅｓ３．３不同工作壓強(qiáng)下的氧化鎢薄膜的孔隙率及光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行濺射鍍膜時，工作壓強(qiáng)的大小會直接影響鍍膜的沉積速率和膜層的結(jié)構(gòu)。不同工作壓強(qiáng)下制備的氧化鎢膜層的孔隙率如表４所示，可以看出，工作壓強(qiáng)越大，氧化鎢膜的折射率（在波長６３２．８ｎｍ處測得）越小，折射率主要與膜層的化學(xué)配比、結(jié)晶程度及膜層微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。根據(jù)３．１節(jié)的氧氬體積流量比討論和３．２節(jié)的ＸＲＤ測試結(jié)果可知，不同工作壓強(qiáng)下的ＷＯ３膜層的化學(xué)配比和結(jié)晶程度相同；根據(jù)３．２節(jié)的ＡＦＭ和ＳＥＭ分析結(jié)果可知，工作壓強(qiáng)影響膜層微觀結(jié)構(gòu)的疏松程度，因此實(shí)驗(yàn)中折射率主要與膜層微觀結(jié)構(gòu)的疏

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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