發(fā)布時(shí)間：2020-07-16 07:18

【摘要】：隨著液晶玻璃基板生產(chǎn)線不斷升級(jí),玻璃基板的尺寸越來越大,厚度越來越薄。從第7代線開始,氣浮支承傳輸逐步取代滾輪支承傳輸,成為新一代液晶玻璃基板光學(xué)自動(dòng)檢測(cè)儀器中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。液晶玻璃基板在線檢測(cè)過程中對(duì)玻璃板在垂直方向上的變形量有嚴(yán)格的要求,本文主要從以下兩個(gè)方面進(jìn)行研究,首先對(duì)氣浮支承下的液晶玻璃板變形進(jìn)行理論分析,進(jìn)而研究氣浮平臺(tái)的參數(shù)對(duì)變形的影響。文中基于彈性薄板的小撓度彎曲理論和流體潤滑理論對(duì)氣浮支承下的液晶玻璃板變形進(jìn)行理論分析,推導(dǎo)了液晶玻璃薄板在吹吸噴嘴作用下的最大撓度計(jì)算公式。通過分析玻璃基板單元,可知最大撓度出現(xiàn)在玻璃基板單元的中心,并與毛細(xì)管排布間距的四次方成正比。通過Fluent對(duì)液晶玻璃基板氣浮支承系統(tǒng)進(jìn)行仿真,得到了不同噴嘴孔間距下的載荷分布以及玻璃基板最大變形處受到載荷的準(zhǔn)確值,綜合考慮玻璃板的最大變形量要求、氣膜面的壓力分布狀況及經(jīng)濟(jì)性,可以得到氣膜單元上通孔的橫向間距范圍。在理論研究的基礎(chǔ)上,給出了一組采用氣浮支承傳輸?shù)囊壕РＡЩ骞鈱W(xué)檢測(cè)儀器的噴嘴布置參數(shù):噴嘴的合理間距應(yīng)處于20~25mm之間。利用Workbench流固耦合仿真軟件對(duì)氣浮平臺(tái)支承下的單個(gè)玻璃基板進(jìn)行建模仿真,詳細(xì)研究了供氣壓力(正壓和負(fù)壓)、毛細(xì)管長度、氣腔長度對(duì)玻璃基板變形的影響,考慮不同情況下氣膜面的壓力分布及質(zhì)量流量,實(shí)現(xiàn)對(duì)氣浮平臺(tái)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)了一種新型的供氣模式,即提高縱向中心負(fù)壓孔的壓力。仿真結(jié)果顯示玻璃基板的變形以及氣膜面的壓力分布都要明顯優(yōu)于原有的供氣模式。在理論研究和仿真分析基礎(chǔ)上,對(duì)氣浮平臺(tái)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了工程優(yōu)化設(shè)計(jì),試制了原理樣機(jī)。通過對(duì)液晶平板顯示屏自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀原理樣機(jī)氣浮支承系統(tǒng)的檢測(cè),可知當(dāng)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)玻璃基板的變形及氣膜面壓力的穩(wěn)定性均達(dá)到項(xiàng)目要求。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：TQ171.1
【圖文】：

第 7 代生產(chǎn)線以上采用傳輸裝置的都是滾輪傳輸，、平穩(wěn)性差以及變形量大等缺點(diǎn)。從第 7 代線開始，以氣浮承傳輸是當(dāng)前國際上新一代液晶玻璃基板光學(xué)自動(dòng)檢測(cè)儀器。氣浮支承因其無接觸、低摩擦、高精度廣泛應(yīng)用于超精密有均化誤差的作用，使得整個(gè)氣浮系統(tǒng)具有很高的穩(wěn)定性。板檢測(cè)精度的提高包括檢測(cè)方案的優(yōu)化以及降低檢測(cè)誤差。檢測(cè)方式為人工肉眼翻查缺陷檢測(cè)方式，人眼進(jìn)行玻璃基板很低、需要的人力成本高。基于數(shù)字圖像處理的自動(dòng)光學(xué)檢速度快等優(yōu)點(diǎn)，逐步取代了人工肉眼翻查缺陷檢測(cè)方式。液，平面剛度很低。玻璃板在 Review 顯微成像中，顯微鏡頭小，微米甚至更小范圍的抖動(dòng)或工件垂直方向上的變形，都象發(fā)生。隨著三星 S6 edge 的推出，柔性屏幕逐漸進(jìn)入人們熟知，如圖 1.1 所示，其輕巧、便攜等優(yōu)點(diǎn)為人們所期待，將到來�？烧郫B顯示屏的厚度非常薄，極易變形，所以玻璃學(xué)檢測(cè)精度的影響顯得尤為突出，甚至導(dǎo)致玻璃基板的破裂

高產(chǎn)品的良品率提出了很大的挑戰(zhàn)。玻璃基板的彎曲變形響，如何在玻璃基板變形滿足光學(xué)檢測(cè)的前提下，提高氣，都將是未來液晶顯示屏產(chǎn)業(yè)必須解決的問題。究問題簡(jiǎn)介同的供氣方式，氣浮平臺(tái)分為正壓供氣式氣浮平臺(tái)和正負(fù)，由于正負(fù)壓同時(shí)供氣式氣浮平臺(tái)是一種適用于高精度、因此本文來源項(xiàng)目中選用的是正負(fù)壓同時(shí)供氣式氣浮平臺(tái)氣浮板單元連接排列而成，每塊氣浮板單元上設(shè)置有毛細(xì)管與負(fù)壓通氣孔交替排列，如圖 1.2 所示。氣浮平臺(tái)與待運(yùn)穩(wěn)定厚度的氣膜，氣浮力與玻璃基板的重力處于平衡狀態(tài)膜將玻璃基板浮起，玻璃基板在兩側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（直線電機(jī)移動(dòng)。本文采用氣浮臺(tái)的分塊設(shè)計(jì)、組合安裝和分區(qū)域控節(jié)的方法，可以在減小壓縮空氣的消耗的同時(shí)，保證了正基板抖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量。

2)43(3zhz （2.1薄板彎曲變形微分方程應(yīng)力邊界條件 qzzh /2( )以及以上公式可以求解出薄板小撓度理論面的微分方程：qxxyyD D ()442244422 （2.1式（2.12）中：12(1)23 EhD ，稱為抗彎剛度。邊界條件求解公式（2.12）的撓曲線微分方程，必須配有邊界條件。本節(jié)以矩形來說明如何列出邊界條件。如圖 2.1，設(shè)板的邊 x=0 為簡(jiǎn)支邊，邊 y=，邊 x=a 以及 y=b 為自由邊。

【參考文獻(xiàn)】

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6 羅麗平;

本文編號(hào)：2757701