流化床多晶硅生產(chǎn)車間火災(zāi)危險(xiǎn)性研究
【學(xué)位授予單位】:西安建筑科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類號(hào)】:TQ127.2;TQ086
【圖文】:
圖 2.1 流化床車間生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)圖(美國(guó) REC 公司)流化床單元包括流化床反應(yīng)器、預(yù)熱器,反應(yīng)器頂部的排放氣分離系統(tǒng),器底部的產(chǎn)品排出系統(tǒng)以及其他設(shè)備。流化床單元進(jìn)料包括硅烷,氫氣和種晶放氣主要組成是氫氣,夾帶有微量的硅烷,粉塵及粉末。流化床反應(yīng)器在氫
車間設(shè)備布置圖(美國(guó)REC公司)
【參考文獻(xiàn)】
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本文編號(hào):2730980
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