本文選題：非球形硅溶膠　切入點(diǎn)：鈷　出處：《表面技術(shù)》2017年08期

【摘要】：目的提高A向藍(lán)寶石拋光速率。方法分別采用誘導(dǎo)法和種子法制備了非球形和球形鈷摻雜硅溶膠,并應(yīng)用于A向藍(lán)寶石的化學(xué)機(jī)械拋光。采用掃描電子顯微鏡(SEM)、電感偶合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)和X射線光電子能譜(XPS)檢測(cè)產(chǎn)物顆粒的粒徑及其分布、形貌、元素組成及存在狀態(tài)等,采用CP-4拋光機(jī)對(duì)拋光速率進(jìn)行驗(yàn)證,并用原子力顯微鏡測(cè)試拋光后的材料表面粗糙度,根據(jù)拋光后產(chǎn)物的XPS測(cè)試結(jié)果對(duì)拋光過程中的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行分析。結(jié)果與純硅溶膠相比,非球形鈷摻雜硅溶膠拋光速率提高了37%,且表面粗糙度相近,而球形鈷摻雜硅溶膠拋光速率卻無明顯優(yōu)勢(shì)。XPS結(jié)果顯示,目前沒有證據(jù)表明Co元素參與了化學(xué)反應(yīng)。結(jié)論非球形鈷摻雜硅溶膠在A向藍(lán)寶石拋光中起到了積極作用,歸因于其形狀優(yōu)勢(shì)而非Al_2O_3與Co之間的化學(xué)反應(yīng)。
[Abstract]:Objective to improve the polishing rate of A direction sapphire.Methods Non-spherical and spherical cobalt-doped silica sol was prepared by induction method and seed method, and was applied to the chemical and mechanical polishing of A direction sapphire.Scanning electron microscopy (SEM), inductively coupled plasma emission spectrometer (ICP) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were used to detect the particle size and distribution, morphology, element composition and existing state of the product.The polishing rate was verified by CP-4 polishing machine, and the surface roughness of the polished material was measured by atomic force microscope. The chemical reaction in the polishing process was analyzed according to the XPS test results of the polished products.Results compared with pure silica sol, the polishing rate of non-spherical cobalt doped silica sol increased 37%, and the surface roughness was similar, while the polishing rate of spherical cobalt doped silica sol had no obvious advantage. XPS results showed that the polishing rate of spherical cobalt doped silica sol was similar to that of spherical cobalt doped silica sol.There is no evidence that Co is involved in the chemical reaction.Conclusion Non-spherical cobalt-doped silica sol plays an active role in A-direction sapphire polishing due to its dominant shape rather than the chemical reaction between Al_2O_3 and Co.
【作者單位】： 上海大學(xué)理學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;上海大學(xué)納米科學(xué)與技術(shù)研究中心;
【基金】：Supported by National Natural Science Foundation of China(51205387) Science and Technology Commission of Shanghai(14XD1425300,14DZ2294900)~~
【分類號(hào)】：TB306;TQ127.2

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本文編號(hào)：1699830