本文選題：三氯氫硅　切入點：精餾　出處：《北京化工大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：三氯氫硅廣泛應(yīng)用于多晶硅,單晶硅,化學(xué)氣相沉淀、電子氣等產(chǎn)品的制造,在實際生產(chǎn)中存在著產(chǎn)品雜質(zhì)含量較高,能耗較大的問題。本文為達到三氯氫硅純度的要求,提高提純工藝效率,在三氯氫硅純度達到要求的基礎(chǔ)上,降低生產(chǎn)能耗,分為三步進行。本文介紹了三氯氫硅的性質(zhì)、生產(chǎn)原理以及反映的催化機理,介紹了填料的分類、性質(zhì)及其各自的應(yīng)用。填料流體力學(xué)性能和傳質(zhì)性能的計算。本文對三氯氫硅精餾塔設(shè)備進行了設(shè)計和理論計算,并通過aspen plus計算軟件,對三氯氫硅精餾過程進行了計算機模擬與優(yōu)化,對精餾塔的操作彈性進行改良,達到在工業(yè)應(yīng)用上提高三氯氫硅純度,降低能耗的要求。依據(jù)設(shè)計要求和模擬的數(shù)據(jù)結(jié)果,對精餾塔的尺寸進行了設(shè)計。對各個操作參數(shù)和規(guī)程進行了規(guī)定。在實際生產(chǎn)中對設(shè)計結(jié)果進行了驗證,滿足原定的對三氯氫硅純度的質(zhì)量要求。
[Abstract]:Trichlorohydrosilicon is widely used in the manufacture of polysilicon, monocrystalline silicon, chemical vapor precipitation, electronic gas and so on. On the basis of improving the purification process efficiency and reducing the production energy consumption on the basis of the purity of trichlorosilicon to meet the requirements, it is divided into three steps. In this paper, the properties, production principle and reaction catalytic mechanism of trichlorosilane are introduced, and the classification of fillers is introduced. Properties and their respective applications. Calculation of hydrodynamic properties and mass transfer properties of fillers. The design and theoretical calculation of trichlorosilicon distillation column equipment were carried out, and the calculation software aspen plus was used. The distillation process of trichlorosilane was simulated and optimized by computer. The operating elasticity of the distillation column was improved to meet the requirements of increasing the purity of trichlorosilicon and reducing the energy consumption in industrial application. According to the design requirements and the simulated data results, The size of the distillation column was designed and the operation parameters and procedures were specified. The design results were verified in actual production to meet the original quality requirements for the purity of trichlorosilicon.
【學(xué)位授予單位】：北京化工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TQ127.2

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本文編號：1680250