本文選題：單層二硫化鉬薄膜　切入點(diǎn)：低溫氧等離子體　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年10期

【摘要】：二硫化鉬是一種類似于"三明治"結(jié)構(gòu)的二維片層結(jié)構(gòu),這種特殊的結(jié)構(gòu)造就了其優(yōu)異的物理化學(xué)性能,具有較大的理論研究意義。本次實(shí)驗(yàn)運(yùn)用低溫氧等離子體對(duì)機(jī)械剝離的單層二硫化鉬薄膜進(jìn)行改性處理,研究控制處理時(shí)間不同的條件對(duì)二硫化鉬薄膜的均勻度和表層電荷的影響。拉曼光譜圖顯示處理后的二硫化鉬薄膜的E12g峰和A1g向右發(fā)生了明顯的偏移,表明引入了N型摻雜。運(yùn)用原子力顯微鏡探究材料形貌、相位和表面電荷的變化,從形貌圖發(fā)現(xiàn)低溫氧等離子體處理后的表面粗糙度有了明顯的增加;原子力顯微靜(AFM)的相位圖表明樣品的均勻度以一定的規(guī)律變小;根據(jù)(AFM)表層電荷分布圖,觀察到低溫氧等離子體處理后樣品表層電荷隨處理時(shí)間的增加而增加,當(dāng)改性時(shí)間在40 s時(shí),樣品表層電荷全部消失。
[Abstract]:Molybdenum disulfide is a two-dimensional lamellar structure similar to the "sandwich" structure, which makes it have excellent physical and chemical properties. In this experiment, molybdenum disulfide film was modified by low temperature oxygen plasma. The effects of different treatment time on the uniformity and surface charge of molybdenum disulfide thin films were studied. Raman spectra showed that the E12g peak and the A1g shift of molybdenum disulfide films were obviously shifted to the right. The results show that N-type doping is introduced. Atomic force microscope (AFM) is used to investigate the changes of morphology, phase and surface charge. It is found that the surface roughness increased obviously after low temperature oxygen plasma treatment. The phase diagram of atomic force microscopy (AFM) shows that the uniformity of the sample decreases with a certain regularity, and according to the surface charge distribution, it is observed that the surface charge of the sample increases with the increase of treatment time after low temperature oxygen plasma treatment. When the modification time is 40 s, the surface charge of the sample disappears.
【作者單位】： 江蘇大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51675246) 鎮(zhèn)江市科技項(xiàng)目(重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃,GY2016014) 江蘇省道路載運(yùn)工具新技術(shù)應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金課題(BM20082061711)
【分類號(hào)】：TB383.2;TQ136.12

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本文編號(hào)：1657821