本文選題：激光化學(xué)　切入點(diǎn)：圓擬合　出處：《激光與紅外》2017年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：激光化學(xué)氣相沉積(Laser Chemical Vapor Deposition,LCVD)石墨烯制備受聚焦光斑影響很大。實(shí)時(shí)檢測光斑,可實(shí)現(xiàn)石墨烯LCVD法可控制備。設(shè)計(jì)聚焦光斑測量光學(xué)系統(tǒng),提出一種基于圓擬合的改進(jìn)算法檢測光斑中心和半徑,計(jì)算、標(biāo)定光斑面積。該方法在圓擬合基礎(chǔ)上加入了二值化、形態(tài)學(xué)處理及連通性判別等預(yù)處理方法。實(shí)驗(yàn)表明,該方法測得圓心位置與真值誤差平均為5.58 pixel,光斑面積與真值誤差平均為1.93×10~(-9)m~2,優(yōu)于傳統(tǒng)的重心法和霍夫檢測法,具有較快的計(jì)算速度和檢測精度,可實(shí)現(xiàn)LCVD法制備石墨烯實(shí)驗(yàn)中聚焦光斑的非接觸式測量,且對其他激光加工工藝的質(zhì)量控制有借鑒意義。
[Abstract]:Laser Chemical Vapor deposition (LCVD) graphene preparation is greatly affected by focusing spot. The real-time detection of spot can be controlled by graphene LCVD method. The optical system of focusing spot measurement is designed. An improved algorithm based on circle fitting is proposed to detect the center and radius of the spot, calculate and calibrate the spot area. Based on the circle fitting, a preprocessing method, such as binarization, morphological processing and connectivity discrimination, is added to the method. The experimental results show that, The average error between center of center and true value is 5.58 pixel, and the average error between spot area and true value is 1.93 脳 10 ~ (-9) m ~ (-1). This method is superior to the traditional centroid method and Hough's detection method, and has faster calculation speed and detection accuracy. The non-contact measurement of the focusing spot in the preparation of graphene by LCVD method can be realized, and it can be used for reference in the quality control of other laser processing processes.
【作者單位】： 廈門大學(xué)航空航天學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.61575165) 福建省科技計(jì)劃重大專項(xiàng)(No.2015HZ002-1)資助
【分類號】：TP391.41;TQ127.11

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本文編號：1640989