本文選題：碳化硅　切入點(diǎn)：空心微球　出處：《硅酸鹽學(xué)報(bào)》2017年10期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：以四甲基硅(tetramethyl silane,TMS)、反式二丁烯(trans-2-butene,T2B)和氫氣為工作氣源,采用化學(xué)氣相沉積(CVD)-高溫?zé)峤夥?在不同TMS流量條件下制備了慣性約束聚變用SiC空心微球。對(duì)SiC空心微球的成分、表面形貌、表面粗糙度、球形度以及壁厚均勻性等進(jìn)行了表征,分析了不同TMS流量對(duì)SiC空心微球成分及性能的影響。研究表明:在SiC空心微球中,C與Si兩元素的原子比隨TMS流量增加呈現(xiàn)逐漸減小的趨勢(shì)。微球的表面均方根粗糙度隨TMS流量的增加先減小后增加,當(dāng)TMS流量為0.25 m L/min時(shí),表面均方根粗糙度減小至78 nm。微球的球形度隨TMS流量的增加不發(fā)生明顯變化,且均優(yōu)于99%,而壁厚均勻性隨TMS流量的增加先增加后減小,當(dāng)TMS流量為0.25 m L/min時(shí),壁厚均勻性可達(dá)96%。
[Abstract]:With four methyl silicone (tetramethyl silane, TMS), trans two butene (trans-2-butene, T2B) and hydrogen as the work gas, by chemical vapor deposition (CVD) - pyrolysis method, TMS in different flow conditions were prepared for inertial confinement fusion using SiC hollow microspheres. The composition of SiC hollow microspheres, surface the morphology, surface roughness, sphericity and wall thickness uniformity were characterized, and analyzes the influence of different TMS flow on the composition and properties of SiC hollow microspheres. The results show that: in the SiC hollow microspheres, C and Si two element atom ratio with the increase of TMS flow rate decreases gradually. The surface of the microspheres were the RMS roughness increases with the flow rate of TMS decreases first and then increases, when the flow rate of TMS is 0.25 m L/min, the rms surface roughness is reduced to 78 nm. microspheres with spherical degree TMS the increase of flow rate does not change significantly, and better than 99%, and the wall thickness uniformity with TMS flow The increase of the volume increases first and then decreases. When the TMS flow is 0.25 m L/min, the wall thickness uniformity can reach 96%.

【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心;西南科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：中國(guó)工程物理研究院超精密加工重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目(ZD16002)
【分類(lèi)號(hào)】：TQ127.2

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本文編號(hào)：1596287