本文關(guān)鍵詞： 直流輝光放電 氮摻雜石墨烯 等離子體 多物理場耦合分析 原子層沉積(ALD)　出處：《微納電子技術(shù)》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：在原子層沉積(ALD)的腔室內(nèi),采用直流輝光放電技術(shù),以N2等離子體作為摻雜源制備了氮摻雜石墨烯,考察了電場方向和摻雜時間對石墨烯的摻雜特性影響。喇曼光譜和高分辨率X射線光電子能譜(XPS)測試表明,隨著摻雜時間的延長,氮的摻雜量逐漸提高,并且負電場較正電場具有更高的摻雜效率,在-800 V電場、N2等離子體摻雜2 h的條件下,石墨烯中氮與碳的原子比達到9.5%。同時,采用Comsol Multiphysics軟件模擬了腔室內(nèi)正負電場情況下的等離子體分布,結(jié)果表明電極盤為負電時,腔室內(nèi)的放電區(qū)域更加發(fā)散,有利于摻雜離子與自由基到石墨烯表面的擴散。
[Abstract]:Nitrogen doped graphene was prepared by direct current glow discharge (DC glow discharge) in the chamber of atomic layer deposition (ALD) with N2 plasma as the dopant source. The effects of electric field direction and doping time on the doping characteristics of graphene were investigated. Raman spectra and high resolution X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) measurements showed that the amount of nitrogen doping increased with the increase of doping time. The negative electric field has higher doping efficiency than the positive electric field. The atomic ratio of nitrogen to carbon in graphene can reach 9.5% under the condition of -800 V electric field and N2 plasma doping for 2 h. At the same time, Comsol Multiphysics software was used to simulate the plasma distribution in the chamber with positive and negative electric field. The results show that the discharge region of the chamber becomes more divergent when the electrode plate is negative, which is conducive to the diffusion of doped ions and free radicals to the surface of graphene.
【作者單位】： 中國科學院微電子研究所微電子儀器設(shè)備研究中心;中國科學院大學;中國科學院微電子研究所微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室;集成電路測試技術(shù)北京市重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金青年基金資助項目(61604175,61404170) 國家重大科研儀器研制資助項目(61427901)
【分類號】：TQ127.11

【參考文獻】

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5 證券時報記者 向南;石墨烯貴過黃金15倍 生產(chǎn)不易炒作先行[N];證券時報;2010年

6 本報特約撰稿 吳康迪;石墨烯 何以結(jié)緣諾貝爾獎[N];計算機世界;2010年

7 記者 謝榮　通訊員 夏永祥 陳海泉 張光杰;石墨烯在泰實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化[N];泰州日報;2010年

8 本報記者 紀愛玲;石墨烯：市場未啟 炒作先行[N];中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導報;2011年

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9 于金海;石墨烯的非共價功能化修飾及載藥系統(tǒng)研究[D];青島科技大學;2012年

10 李晶;高分散性石墨烯的制備[D];上海交通大學;2013年

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本文編號：1540126