本文關(guān)鍵詞： 多孔陽極氧化鋁 擴孔機理 多層結(jié)構(gòu) 截面　出處：《稀有金屬材料與工程》2017年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：多孔陽極氧化鋁(PAA)的孔徑大小及其均勻性可通過擴孔進行改善。以3%(質(zhì)量分數(shù))磷酸作為刻蝕液,在實現(xiàn)PAA孔徑擴大的同時,詳細研究了三維狀況下孔徑形態(tài)的實時演變過程。發(fā)現(xiàn)PAA孔加寬在表面和截面2個方向上同時進行。在表面擴孔中,磷酸逐層蝕刻PAA內(nèi)壁多層結(jié)構(gòu),隨著擴孔時間的增加,擴孔速率不同。在截面擴孔中,當擴孔時間達到某一定值時,由于擴孔速率不同,PAA頂部的擴孔過程較底部相對較早完成,隨后頂部擴孔速率逐漸降低,底部擴孔速率逐漸增加。當擴孔完成時,形成均一性良好的理想圓形小孔。同時發(fā)現(xiàn),過度增加擴孔時間,PAA基元結(jié)構(gòu)將被破壞,并由于高縱橫比形成納米線,隨后被刻蝕溶液腐蝕。結(jié)合多層結(jié)構(gòu)理論詳細闡明了三維PAA的實時擴孔機制。
[Abstract]:The pore size and uniformity of porous anodic alumina (PAA) can be improved by pore expansion. Using 3 (mass fraction) phosphoric acid as etching solution, the pore size of PAA can be enlarged at the same time. The real time evolution of pore size morphology in three dimensional condition is studied in detail. It is found that PAA pore broadening is carried out simultaneously in both surface and cross section directions. In the surface reaming process, phosphoric acid etches the multilayer structure of PAA inner wall layer by layer, and with the increase of reaming time, When the reaming time reaches a certain value, the reaming process of the top of PAA is completed earlier than that of the bottom because of the different reaming rate, and then the rate of the expansion at the top decreases gradually. At the same time, it is found that the structure of PAA elements will be destroyed and nanowires will be formed because of the high aspect ratio. Then it was etched by etching solution, and the real time pore expansion mechanism of 3D PAA was explained in detail with the theory of multilayer structure.
【作者單位】： 西北大學光電技術(shù)與功能材料國家重點實驗室培育基地陜西省光電技術(shù)實驗室國家級光電技術(shù)與納米功能材料及應(yīng)用國際科技合作基地;中國科學院物理研究所;
【基金】：National Natural Science Foundation of China(61378083) International Cooperation Foundation of the National Science and Technology Major Project of the Ministry of Science and Technology of China(2011DFA12220) Major Research Plan of National Natural Science Foundation of China(91123030) Natural Science Foundation of Shaanxi Province of China(14JS106)
【分類號】：TB383.4;TQ133.1

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本文編號：1494858