本文關(guān)鍵詞：基于“回”型陰極屏蔽板的平面電鑄件厚度分布均勻性研究　出處：《兵工學(xué)報(bào)》2016年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為進(jìn)一步提高大面積平面電鑄件厚度分布的均勻性,提出一種改進(jìn)型電鑄工藝——陰極加設(shè)"回"字型屏蔽板并做周向等幅平面運(yùn)動(dòng),并對(duì)此進(jìn)行了數(shù)值分析與實(shí)驗(yàn)研究。研究結(jié)果表明:"回"字型屏蔽板結(jié)構(gòu)參數(shù)與位置參數(shù)對(duì)陰極電流密度分布有很大影響,采用改進(jìn)型電鑄工藝能顯著改善電鑄層厚度的分布特性,基于新工藝制備約為100μm厚的電鑄層(大小70 mm×70 mm)的厚度差小于8%.
【作者單位】： 河南理工大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;昆山美微電子科技有限公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51475149) 河南省高等院校科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)支持計(jì)劃項(xiàng)目(15IRTSTHN013)
【分類號(hào)】：TQ153.4
【正文快照】： 0引言基于電沉積原理的電鑄技術(shù)是一種典型的低溫特種加工技術(shù),因具有能精確復(fù)制細(xì)微特征、微組織結(jié)構(gòu)與性能易控、不受工件空間尺寸和形狀限制等優(yōu)點(diǎn),而特別適合于薄壁類零件、復(fù)雜型面體與微細(xì)結(jié)構(gòu)特征體的制造[1-2],如液體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)推力室、破甲彈藥型罩、波紋管、模具、，

本文編號(hào)：1323651