本文關(guān)鍵詞：球狀微米金剛石的制備過程及其場發(fā)射性能的研究

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【摘要】：在純平的陶瓷襯底上面,利用磁控濺射方法鍍上一層金屬鈦。對金屬鈦層進行表面缺陷處理后,放入微波等離子體化學(xué)氣相沉積腔中,利用正交實驗方法制備出場發(fā)射性能最優(yōu)的薄膜,通過掃描電鏡、X射線衍射儀、拉曼光譜儀等儀器,研究了薄膜的微觀表面形態(tài)、結(jié)構(gòu)組成等,得到了該薄膜是球狀微米金剛石薄膜的結(jié)論。并進一步研究了最優(yōu)場發(fā)射薄膜的發(fā)射機理。
【作者單位】： 鄭州師范學(xué)院物理與電子工程學(xué)院;鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院材料物理教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 球狀微米金剛石薄膜 場致電子發(fā)射 微波等離子體化學(xué)氣相沉積
【基金】：教育部科學(xué)技術(shù)重點資助項目(No.205091) 河南省科學(xué)技術(shù)成果項目(教高豫科鑒委字〔2015〕第569號) 河南省高等學(xué)校重點科研項目(項目編號:16A140039)~~
【分類號】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 1引言2實驗在當今社會顯示器的發(fā)展歷程中,主要有以在純平陶瓷襯底上通過磁控濺射的方法鍍上下幾種顯示器:其一是陰極射線管(CRT)顯示一層金屬鈦,經(jīng)過對金屬鈦層充分地機械拋光,以器。它具有亮度、受外界環(huán)境影響小等優(yōu)點,但它此為基底用丙酮超聲清洗10 min,去離子水超聲的缺

【參考文獻】

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1 張?zhí)煲?許軍;董佳W，

本文編號：1040678