本文關鍵詞：用于電真空器件的金屬材料蒸發(fā)特性

  更多相關文章： 微波真空電子器件 蒸發(fā) 飛行時間質(zhì)譜 金屬材料

【摘要】：隨著現(xiàn)代通信衛(wèi)星技術的發(fā)展,對微波真空電子器件的壽命和可靠性提出了更高的要求,廣泛應用于微波真空電子器件的蒙乃爾、不銹鋼等金屬材料的蒸發(fā)性能直接影響器件的可靠性和壽命.本文采用飛行時間質(zhì)譜儀(TOFMS)研究金屬材料蒸發(fā)性能.利用TOFMS測試了真空本底、蒙乃爾、不銹鋼等各種金屬材料蒸發(fā)物的成分和大小.測試結(jié)果表明TOFMS具有很高的靈敏度,是一種非常快捷的研究金屬材料蒸發(fā)的實驗手段.測試結(jié)果發(fā)現(xiàn)在遠低于Mn,Cu及Cr熔點的溫度下,蒙乃爾、不銹鋼材料加熱到800?C左右時就開始出現(xiàn)Mn,Cu元素的蒸發(fā),在900?C時就有大量Mn,Cu和Cr元素的蒸發(fā),這些蒸發(fā)物蒸發(fā)到絕緣陶瓷上會使電子槍的絕緣性能下降,因而蒙乃爾和不銹鋼不適用于陰極電子槍零件,尤其不適用于長壽命高真空器件的陰極電子槍零件以及其他容易受到電子轟擊的零件(如陽極、收集極等).研究了在超高真空狀態(tài)下加熱時間對蒙乃爾和不銹鋼材料表面結(jié)構的影響.發(fā)現(xiàn)蒙乃爾和不銹鋼在900?C的溫度下加熱一段時間后,其表面結(jié)構有了很大的變化,出現(xiàn)了大量的孔洞和晶界,并且隨著處理時間的延長,材料的晶粒間界逐漸變大,從而使材料的強度下降、出現(xiàn)滲氣甚至漏氣等現(xiàn)象,因此蒙乃爾和不銹鋼材料制作的零件尤其是薄壁零件不宜長時間在超高真空狀態(tài)下高溫加熱.結(jié)合相關的理論知識對此現(xiàn)象進行了詳細的分析.
【作者單位】： 中國科學院電子學研究所;
【關鍵詞】： 微波真空電子器件 蒸發(fā) 飛行時間質(zhì)譜 金屬材料
【基金】：國家重點基礎研究發(fā)展計劃(批準號:2013CB328900)資助的課題~~
【分類號】：O657.63;TN104.1
【正文快照】： 生的蒸氣是管內(nèi)氣源之一,也是物質(zhì)遷移的重要因1引言素.蒸發(fā)的金屬原子沉積到其他電極上,將改變這些材料的表面特性,它直接影響微波真空電子器件微波真空電子器件廣泛應用于衛(wèi)星通信、加速的真空性能、絕緣性能、電子發(fā)射、對光和熱的輻射器、雷達、可控熱核聚變、全球定位及

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