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光學(xué)浮區(qū)法晶體生長溫度場數(shù)值模擬研究

發(fā)布時(shí)間:2017-09-01 08:33

  本文關(guān)鍵詞:光學(xué)浮區(qū)法晶體生長溫度場數(shù)值模擬研究


  更多相關(guān)文章: 光學(xué)浮區(qū)法 溫度場 有限元數(shù)值模擬 TiO_2晶體 SBN晶體


【摘要】:本文以數(shù)值模擬和實(shí)際生長實(shí)驗(yàn)相結(jié)合,編寫出了一套適用于光學(xué)浮區(qū)法生長晶體溫度場的模擬程序。通過模擬計(jì)算,利用光學(xué)浮區(qū)法生長出了質(zhì)量較好的TiO_2晶體和SBN(鈮酸鍶鋇)晶體。首先,建立光學(xué)浮區(qū)法生長溫度場的數(shù)學(xué)模型以及簡化的二維軸對稱熔區(qū)幾何模型。之后測量光源、鹵素?zé)簟⑸L材料的物理參數(shù),完成數(shù)學(xué)模型中邊界條件的加載。最后通過模擬軟件,編寫出一套有限元溫度場的模擬程序。對生長過程中的燈絲尺寸、生長功率百分比、熔區(qū)形狀、預(yù)制棒半徑、熱導(dǎo)率等參數(shù)進(jìn)行溫度場模擬,并計(jì)算出不同參數(shù)下的橫向縱向溫度分布以及溫度梯度,最后得出結(jié)論:主要影響TiO_2和SBN晶體生長的參數(shù)是燈功率,生長功率百分比和預(yù)制棒直徑;兩種晶體都適合使用1000W鹵素?zé)羯L,TiO_2生長的最佳功率百分比72%,SBN晶體生長的最佳功率百分比48%,SBN晶體預(yù)制棒直徑為5mm時(shí)晶體質(zhì)量最好,TiO_2晶體預(yù)制棒直徑為8mm時(shí)晶體質(zhì)量最好。進(jìn)行光學(xué)浮區(qū)法生長TiO_2和SBN晶體的實(shí)驗(yàn),利用模擬程序確定大致的工藝參數(shù)范圍,使用不同的工藝參數(shù)進(jìn)行生長,觀察生長過程中熔區(qū)的穩(wěn)定程度,根據(jù)數(shù)值模擬和實(shí)驗(yàn),修改參數(shù)最后生長出外觀較好,質(zhì)地較均勻的晶體。測量生長出的晶體質(zhì)量,與模擬結(jié)果對比,最終確定最佳工藝參數(shù),對于TiO_2晶體最好的工藝參數(shù)是:1000 W鹵素?zé)?燈絲厚度3mm)、預(yù)制棒直徑8mm,生長功率百分比73%、旋轉(zhuǎn)速度20 r/min;對于SBN晶體最好的工藝參數(shù)是:1000 W鹵素?zé)?燈絲厚度3mm)、預(yù)制棒直徑5mm,生長功率百分比48%、旋轉(zhuǎn)速度20 r/min。通過實(shí)驗(yàn)與理論相結(jié)合,完善模擬程序使其能夠較為精確的模擬光學(xué)浮區(qū)法中熔區(qū)的溫度場分布,并且可以對更多的工藝參數(shù)進(jìn)行模擬,在今后生長不同類型的晶體實(shí)驗(yàn)中能夠提供幫助和指導(dǎo)作用。
【關(guān)鍵詞】:光學(xué)浮區(qū)法 溫度場 有限元數(shù)值模擬 TiO_2晶體 SBN晶體
【學(xué)位授予單位】:北京工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號】:O782.6
【目錄】:
  • 摘要4-5
  • Abstract5-8
  • 第1章 緒論8-19
  • 1.1 晶體生長意義及方法簡介8-9
  • 1.2 光學(xué)浮區(qū)法基本原理9-10
  • 1.3 光學(xué)浮區(qū)法晶體生長實(shí)驗(yàn)參數(shù)的研究現(xiàn)狀10-14
  • 1.3.1 預(yù)制棒特征10-11
  • 1.3.2 晶體生長速度11-12
  • 1.3.3 生長氣氛和氣壓12
  • 1.3.4 溫度梯度和熔區(qū)溫度12-13
  • 1.3.5 轉(zhuǎn)速13-14
  • 1.4 晶體生長數(shù)值模擬技術(shù)研究現(xiàn)狀14-17
  • 1.4.1 晶體生長數(shù)值模擬方法14-15
  • 1.4.2 晶體生長數(shù)值模擬的發(fā)展15-17
  • 1.5 研究課題的提出17-18
  • 1.6 本論文研究目的與主要內(nèi)容18-19
  • 第2章 數(shù)值模擬方法及實(shí)驗(yàn)設(shè)備19-27
  • 2.1 ANSYS有限元軟件熱分析原理及服務(wù)器配置19-21
  • 2.1.1 ANSYS有限元熱分析19-21
  • 2.1.2 ANSYS有限元數(shù)值模擬軟件及服務(wù)器配置21
  • 2.2 光學(xué)浮區(qū)法晶體生長及材料表征21-27
  • 2.2.1 光學(xué)浮區(qū)爐主要參數(shù)21-22
  • 2.2.2 光學(xué)浮區(qū)法生長晶體簡介及預(yù)制棒制作工藝流程22-24
  • 2.2.3 材料及光學(xué)特性表征設(shè)備24-27
  • 第3章 光學(xué)浮區(qū)晶體生長溫度場數(shù)值模擬研究27-47
  • 3.1 有限元仿真模型的建立27-33
  • 3.1.1 材料及熔區(qū)幾何模型的建立27-28
  • 3.1.2 光源模型的建立28-31
  • 3.1.3 邊界條件的加載31
  • 3.1.4 仿真計(jì)算條件及溫度場表征31-33
  • 3.2 晶體生長參數(shù)對溫度場的影響33-46
  • 3.2.1 光源功率百分比對溫度場的影響34-36
  • 3.2.2 光源燈絲厚度對熔區(qū)的影響36-38
  • 3.2.3 預(yù)制棒半徑對溫度場的影響38-40
  • 3.2.4 熔區(qū)中心半徑對溫度場的影響40-42
  • 3.2.5 熔區(qū)高度對溫度場的影響42-44
  • 3.2.6 生長材料的熱導(dǎo)率對溫度場的影響44-46
  • 3.3 光學(xué)浮區(qū)法晶體生長參數(shù)的優(yōu)化46
  • 3.4 本章小結(jié)46-47
  • 第4章 光學(xué)浮區(qū)法生長晶體溫度場的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證47-63
  • 4.1 工藝參數(shù)對TiO_2晶體生長溫度場的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證47-51
  • 4.1.1 光源功率對熔區(qū)的影響47-49
  • 4.1.2 光源燈絲幾何尺寸對熔區(qū)的影響49-50
  • 4.1.3 預(yù)制棒直徑對熔化溫度的影響50
  • 4.1.4 熔區(qū)幾何形貌對熔區(qū)穩(wěn)定性的影響50-51
  • 4.2 工藝參數(shù)對TiO_2晶體生長質(zhì)量的影響51-52
  • 4.3 TiO_2晶體最優(yōu)生長參數(shù)的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證52-54
  • 4.4 SBN生長參數(shù)優(yōu)化及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證54-56
  • 4.5 用于生成ANSYS命令的程序56-62
  • 4.5.1 模擬參數(shù)的設(shè)定和命令的生成56-59
  • 4.5.2 ANSYS命令的調(diào)用59-62
  • 4.6 本章小結(jié)62-63
  • 結(jié)論與展望63-65
  • 參考文獻(xiàn)65-71
  • 攻讀碩士學(xué)位期間完成的學(xué)術(shù)論文及申請的專利71-72
  • 致謝72

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