藍寶石作為一種綜合性能優(yōu)良的多功能晶體材料,有著優(yōu)良的力學性能、光學性能和熱學性能,同時具備較好的耐腐蝕性和抗輻射性。被廣泛應(yīng)用于LED襯底片、激光系統(tǒng)、軍事光學窗口以及智能手機屏幕等領(lǐng)域。各應(yīng)用領(lǐng)域?qū)ζ浔砻尜|(zhì)量有著嚴格要求,高質(zhì)量的表面形貌是保證后續(xù)應(yīng)用的基礎(chǔ)。目前,藍寶石襯底生產(chǎn)流程中的機械加工主要包括切割、研磨、拋光等工序。對各工序表面形貌的檢測和評價,對評價加工工藝、優(yōu)化加工流程、有效控制表面質(zhì)量,有著十分重要的意義。本文針對藍寶石襯底表面微觀形貌評價的需求,搭建了一套基于垂直掃描白光干涉原理的專用測量評價系統(tǒng),包括硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)。其主要研究內(nèi)容有以下幾個方面:(1)參考國家標準“硅片平坦表面的表面粗糙度測量方法”(GB/T29505-2013)中的五點測量法,確定了不同尺寸規(guī)格的藍寶石襯底測量點數(shù)(位置),并進行了測量路徑的規(guī)劃。根據(jù)評價需求選取了典型表面形貌評價參數(shù)(二維參數(shù)Ra、Rq、Rz、Rt、三維參數(shù)Sa、Sq、Sz、Sp)。在單點評價參數(shù)基礎(chǔ)上,研究了多點評價參數(shù)的統(tǒng)計參數(shù),包括:最大值、最小值、均值、方差和標準差,用于綜合分析襯底表面形貌的分布。(2)根據(jù)垂直...

【文章頁數(shù)】：109 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1.2LED芯片結(jié)構(gòu)圖

1第一章引言1.1課題來源本課題來源于國家自然科學基金“LED半導體基片研磨工具制備新方法及其加工機理研究”（項目號51575197）、福建省科技計劃項目“基于損傷檢測的藍寶石晶圓拋光技術(shù)研究”（項目號2018I0012）、廈門市科技計劃項目“單晶碳化硅晶圓高效超精拋光技術(shù)研究”....

圖1.9上海曼戈斐激光共焦顯微鏡

11基于差動原理，四川大學的余廷浩研[39]制出了一套超精細表面微觀形貌無損接觸在線檢測儀。對該測量系統(tǒng)的垂直分辨力和橫向分辨力進行了分析，并用同一測量樣件用該系統(tǒng)與美國ZYGO輪廓儀、taly-6輪廓儀測得的實驗數(shù)據(jù)進行了對比，證明搭建的測量系統(tǒng)能夠滿足超精密加工機床上實現(xiàn)納米....

圖1.10美國Zygo輪廓儀

11基于差動原理，四川大學的余廷浩研[39]制出了一套超精細表面微觀形貌無損接觸在線檢測儀。對該測量系統(tǒng)的垂直分辨力和橫向分辨力進行了分析，并用同一測量樣件用該系統(tǒng)與美國ZYGO輪廓儀、taly-6輪廓儀測得的實驗數(shù)據(jù)進行了對比，證明搭建的測量系統(tǒng)能夠滿足超精密加工機床上實現(xiàn)納米....

圖1.11不同尺寸的藍寶石襯底片

12前市場上的商業(yè)儀器中并沒有針對襯底這一特定樣品，對不同的尺寸開發(fā)出特定的測量評價模塊。且在對其表面形貌的測量中，哪個位置的測量值能代表整個表面的數(shù)值，也沒有規(guī)范統(tǒng)一的標準�？蒲泄ぷ髡咴趯Ρ砻嫘蚊策M行測量時，很少提到測量的位置。圖1.11不同尺寸的藍寶石襯底片1.3.3藍寶石襯....

本文編號：3898832