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大尺寸Y方向鉭酸鎵鑭壓電晶體生長及性能研究

發(fā)布時間:2022-02-10 01:32
  成功采用提拉法生長了尺寸?80 mm×100 mm的Y方向鉭酸鎵鑭壓電晶體,晶體整體透明、無包裹體。采用LCR電橋測量了晶體的相對介電常數,采用諧振-反諧振法測量了壓電應變常數。研究了頭尾之間性能差異性,頭尾頻率常數均勻性達到99.95%,表明晶體存在良好的性能均勻性。此外,還對(010)晶面進行了搖擺曲線和頻率溫度系數測試,測得FHMW和TCF值分別為38.5″、1.23ppm/K。 

【文章來源】:人工晶體學報. 2020,49(06)北大核心

【文章頁數】:4 頁

【部分圖文】:

大尺寸Y方向鉭酸鎵鑭壓電晶體生長及性能研究


(010)面搖擺曲線

曲線,晶體,峰寬,曲線


圖2為(010)面的XRD搖擺曲線,曲線的峰形尖銳,強度高,峰形對稱性好,半高全峰寬(FHMW)為38.5″,表明晶體結構完整,結晶性良好。圖2 (010)面搖擺曲線

頻率溫度系數,晶體,頻率,常數


S= min(Ν 頭 ,Ν 尾 ) max(Ν 頭 ,Ν 尾 ) ×100% (7)式中N頭—晶體等徑部分頭部所取測試片測得的頻率常數,N尾—等徑部分尾部所取測試片測得的頻率常數。晶體頭尾頻率測試均勻性測試結果為99.95%,表明晶體具有良好的均勻性。


本文編號:3618004

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