【摘要】：通過噴砂射流微細(xì)加工工藝與MEMS工藝,在Pyrex7740型硼硅玻璃表面進(jìn)行刻蝕,得到400μm的微細(xì)通道,利用熱壓鍵合技術(shù)得到微型氣相色譜柱。選擇固定相CB-40(40%的苯基+60%的二甲基聚硅氧烷)對(duì)芯片內(nèi)部進(jìn)行涂敷,針對(duì)含硫的惡臭氣體進(jìn)行分離。并利用自制Tenax管式富集器對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)濃縮,針對(duì)檢測的含硫化合物與苯系物的惡臭氣體提高了檢測限。設(shè)計(jì)了自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)與溫度控制系統(tǒng),并選取PID(Photoionization Detector)光離子化傳感器作為終端傳感器。選取典型的含硫惡臭物質(zhì)與苯系物惡臭氣體進(jìn)行混合,實(shí)現(xiàn)了很好的分離,其中苯的檢測限可以達(dá)到20×10~(-9),甲硫醚的檢測限可以達(dá)到100×10~(-9)。
[Abstract]:The micro channel of 400 渭 m was obtained by etching on the surface of Pyrex7740 borosilicate glass by sand blast jet micromachining and MEMS process. The micro gas chromatographic column was obtained by hot pressing bonding technique. The stationary phase CB-40 (40% phenyl 60% dimethyl polysiloxane) was chosen to coat the chip and separate the sour odor gas. The self-made Tenax tube concentrator was used to preconcentrate the gas, and the detection limit was raised for the malodorous gases containing sulfur compounds and benzene series. The automatic sampling system and temperature control system are designed, and the PID (Photoionization Detector) photoionization sensor is selected as the terminal sensor. A good separation was achieved by mixing a typical sulfide-containing odor substance with a benzene-series odor gas. The detection limit of benzene and methyl sulfide could reach 20 脳 10 ~ (-9) and 100 脳 10 ~ (-9) respectively, and the detection limits of benzene and methyl sulfide were 100 脳 10 ~ (-9) and 100 脳 10 ~ (-9), respectively.
【作者單位】： 河北工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)資助項(xiàng)目基金(2012YQ060165)
【分類號(hào)】：X831;O657.71

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2146829