本文選題：焰熔法　切入點(diǎn)：鈦酸鍶單晶體　出處：《材料導(dǎo)報(bào)》2017年16期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：通過研究焰熔法生長鈦酸鍶單晶體過程中生長室內(nèi)的溫度分布特征,分析了H_2和O_2流量、噴嘴孔徑對溫度分布的影響。結(jié)果表明,采用焰熔法生長SrTiO_3晶體時(shí),晶體熔帽表面溫度和壓力由中心逐漸向外降低;隨著H_2流量的增加,中心軸向的最高溫度的位置基本不變,晶體熔帽溫度和晶體四周的最高溫度逐漸升高,只是升高幅度有所減小;晶體熔帽溫度、壓力及晶體周圍煙氣溫度隨O_2流量增大而升高,而軸向最高溫度則降低;增加噴嘴的中心孔徑將使軸向最高溫度、晶體熔帽溫度和徑向溫度梯度降低,而噴嘴的H_2孔徑對生長室內(nèi)軸向和徑向溫度分布的影響不是很明顯。
[Abstract]:The characteristics of temperature distribution in the growth chamber of strontium titanate single crystal grown by flame melting method were studied. The influence of the flow rate of H _ s _ 2 and O _ 2 and the diameter of nozzle on the temperature distribution was analyzed. The results showed that the SrTiO_3 crystal was grown by flame melting method. The surface temperature and pressure of the crystal melting cap gradually decreased from the center to the outside, and with the increase of the flow rate of H _ 2, the position of the highest temperature of the central axial direction basically remained unchanged, and the temperature of the crystal melting cap and the maximum temperature around the crystal gradually increased. The temperature, pressure and flue gas temperature around the crystal increase with the increase of O _ 2 flow rate, while the axial maximum temperature decreases, and the axial maximum temperature increases with the increase of the central aperture of the nozzle. The crystal melting cap temperature and radial temperature gradient are decreased, but the influence of H2 aperture of the nozzle on the axial and radial temperature distribution in the growth chamber is not obvious.
【作者單位】： 大連大學(xué)環(huán)境與化學(xué)工程學(xué)院;沈陽工程學(xué)院新能源學(xué)院;東北大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51472047)
【分類號】：O782.3

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本文編號：1557488