本文關(guān)鍵詞：微型填充式氣相色譜柱的制備（英文）

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【摘要】：為了分離永久性氣體及低碳輕化合物,基于MEMS技術(shù),研究制備了一種微型填充式的氣相色譜柱。為了增加色譜柱的長(zhǎng)度以及深寬比,色譜柱的溝道制備采用了激光刻蝕技術(shù),這種技術(shù)可以方便的在玻璃基底上刻蝕出深溝道,這是其他化學(xué)腐蝕技術(shù)無(wú)法比擬的。研制的色譜柱其溝道橫截面為1.2mm(深度)×0.6mm(寬度),深寬比為2∶1。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,這種微型填充柱,具有較大的樣品容量,能很好的實(shí)現(xiàn)CO和SO_2的分離。
【作者單位】： 北京市勞動(dòng)保護(hù)科學(xué)研究所;中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所;
【基金】：supported by National Natural Science Foundation of China(61176112,60976088) Beijing science and technology plan project(Z141100003414003)
【分類號(hào)】：O657.71
【正文快照】： [　　The　gas　mixtures　separated　by　micro-fabricated　GC　columns　are　predominantly　VOCs　gaseous1-11]as　it　isvery　difficult　to　uniformly　fill　chromatographic　packing　in　the　folding　or　bending　shallow　channels,In　orderto　separate

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本文編號(hào)：1170661