本文關(guān)鍵詞：六方小面相螺旋在各向異性、表面吸附、界面動(dòng)力學(xué)作用下生長(zhǎng)的相場(chǎng)

  更多相關(guān)文章： 數(shù)值模型與模擬 表面形貌 薄膜生長(zhǎng)與沉積 動(dòng)力學(xué)作用

【摘要】：利用定量相場(chǎng)模型研究了強(qiáng)各向異性、表面吸附率以及界面動(dòng)力學(xué)作用條件下六方Ga N螺旋結(jié)構(gòu)的表面形貌與生長(zhǎng)機(jī)理.通過(guò)引入小面相各向異性的相場(chǎng)修正方程,研究了不同各向異性的穩(wěn)態(tài)螺旋形貌,發(fā)現(xiàn)各向異性通過(guò)改變臺(tái)階尖端的曲率作用影響螺旋生長(zhǎng).弱各向異性下穩(wěn)態(tài)螺距及界面動(dòng)力學(xué)特征相對(duì)穩(wěn)定,各向異性較強(qiáng)時(shí)尖端的過(guò)飽和度隨著各向異性的增強(qiáng)而增大,并使得界面平衡態(tài)向著有利于螺旋臺(tái)階推進(jìn)的方向移動(dòng).研究了表面吸附率對(duì)小面相螺旋生長(zhǎng)的作用機(jī)理,發(fā)現(xiàn)吸附率的增加導(dǎo)致了穩(wěn)態(tài)螺旋間距的降低,通過(guò)分析螺旋間距隨臺(tái)階寬度的變化趨勢(shì),發(fā)現(xiàn)增強(qiáng)的表面吸附和各向異性強(qiáng)度降低了螺旋間距的收斂性,并且具體分析了收斂性誤差;通過(guò)探討界面動(dòng)力學(xué)作用條件下螺旋形貌特征以及螺旋間距變化趨勢(shì),發(fā)現(xiàn)界面動(dòng)力學(xué)系數(shù)通過(guò)改變穩(wěn)態(tài)螺旋間距與特征指數(shù)因子調(diào)控螺旋生長(zhǎng)的動(dòng)力學(xué)機(jī)理,與各向同性相比小面相螺旋生長(zhǎng)表現(xiàn)出較低的界面動(dòng)力學(xué)系數(shù)依賴(lài)性.
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)理學(xué)院陜西省凝聚態(tài)結(jié)構(gòu)與性質(zhì)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 數(shù)值模型與模擬 表面形貌 薄膜生長(zhǎng)與沉積 動(dòng)力學(xué)作用
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61471301,51172183,51402240,51471134) 陜西省自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):2015JQ5125) 西北工業(yè)大學(xué)博士論文創(chuàng)新基金(批準(zhǔn)號(hào):CX201325) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)(批準(zhǔn)號(hào):3102015ZY078) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)科研基金(批準(zhǔn)號(hào):20126102110045)資助的課題~~
【分類(lèi)號(hào)】：O78
【正文快照】： 1引言螺旋結(jié)構(gòu)是一種普遍存在于晶體表面的生長(zhǎng)形貌[1].螺旋生長(zhǎng)模式理論認(rèn)為,晶體結(jié)構(gòu)可以由其表面缺陷導(dǎo)致的螺位錯(cuò)產(chǎn)生并控制,尤其是針對(duì)外延薄膜生長(zhǎng)的表面,螺位錯(cuò)產(chǎn)生的局域臺(tái)階將沿著位錯(cuò)核纏繞生長(zhǎng)直至鋪滿(mǎn)一層.通過(guò)對(duì)螺旋生長(zhǎng)過(guò)程的定量研究,不僅能夠直接調(diào)控薄膜形貌

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1040245